SMC气控阀VNA201A-F15A-B气液回路控制用2通阀

SMC气控阀VNA201A-F15A-B气液回路控制用2通阀

SMC气控阀的工作原理是通过电磁阀换向去驱动气动执行器，气动执行器带动阀门，实现阀门的开关。

该产品通过创新结构设计，大大降低阀关闭时的冲击，

从而有效的抑制了微粒的产生。阀主体采用高纯PFA材质，对应高工作压力及背压，

兼具结构紧凑、省空间的特点，适用于涂胶显影、CMP、清洗、湿法蚀刻、药液供给等Wet相关各个工艺环节，

特别是28nm以下对微粒要求更加严格的工艺制程。

专门用于气动系统和气液回路控制

正反向流动都可能的平衡座阀式

气控式、外部先导式电磁阀

系列 VNA

控制方式 气控型

阀体材质 铝合金

通口数 2

使用流体 空气 / 二氧化碳(0.7MPa以下) / 氮气 / 透平油 / 液压油

环境温度 -5～60℃

使用流体温度 -5～60℃

*使用圧力 [MPa] 1 MPa

*低使用圧力 [MPa] 0 MPa

耐压力 1.5 MPa

C值 23 dm³/(s·bar)

b值 0.25

Cv值 4.8

电磁阀SYJ3120T-5L0Z-M3-Q 

电磁阀SY5120-5FU-C6-X268

气缸CQ2B16-5D

电磁阀VT307E-5GS1-015

排水阀AD402-04 1.0 MPa

AS3311F-03-08S

AS3311F-03-10S

AS3311F-03-12S

AS4311F-04-8S

AS4311F-04-10S

AS4311F-04-12S

SMC气控阀VNA201A-F15A-B气液回路控制用2通阀