特点

• 两级排气系统与单级排气系统相比具有更低的压力（良好的真空）。

• 低噪音低震动。

• 安装了防回流机构，在因停电而停止时，可以防止油流回真空室。

• 安装了强制供油机构，排气速度稳定。

• 大气压下可运作。

• 通过内部零件上的定位销，连接法兰部件更容易。

应用

• 化学，科学实验，分析仪和激光系统。

• 用于电子显微镜的背泵。

• 半导体设备，溅射设备，真空蒸发设备。

• 真空干燥机，冷冻干燥机。

规格

※1：极限压力是皮拉尼真空计的测量值。
　　　（McLeod真空计测量时、对于极限力为1.3 Pa或更低的泵，该值低一位数。）
※2：不包括电源插头和电源线。

对应标准/电压

：标准、○：可选对应、－：对应不可
※ＴＵＶ：本产品是通过国际第三方产品安全测试和，符合欧洲标准的高质量产品。
※ｃＴＵＶｕｓ ： 本产品是通过国际第三方产品安全测试和，符合美国标准的高质量产品。

使用上的注意

1　真空泵油随着运作而变差，是导致泵性能不佳的原因。
请定期检查是否有油损和污染，以及重新加注和更换。

2　防回流阀机构在电源故障等紧急时防止泵油回流到真空槽。
长时间停止后，将真空侧恢复到大气压。

3　排气口的油烟（油雾）尤其容易在大气压附近产生。

4　不适合在10kPa或更高的高吸入压力下连续操作。

5　如果在排气口关闭或排气口侧气体通道堵塞的情况下操作泵，则存在爆炸的风险。
泵的内部压力可能升高，泵体可能爆裂，油位计可能会弹出，电机可能会过载。

6　使用碳作为泵内部材料
在运行过程中，碳的磨损可能与油混合并变暗，但泵的寿命和性能不会受到影响。

7　该电动机的过载保护装置为自动复位型。 如果在真空泵运行期间启动过载保护装置，则当电机绕组下降时，自动运作将恢复。
为防止发生事故，请在过载保护装置启动时立即拔下电源插头。

尺寸图

排气速度曲线