pGas200-ASM-SC-6s 半导体车间有毒气体快速检测仪是一款专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害气体泄漏的实用型产品，具有高灵敏度、高可靠性、低浓度检测等特点，可检测硅烷、磷化氢、砷化氢、氯化物、氟化物、氢气、氨气等上百种气体，适用于半导体、液晶面板、光伏和电池制造等行业。电化学探头直接采样，配有方便背包、打印功能，对现场检测、或实验室检测尤其方便适用。
环境检测
污染源检测
工业工艺现场分析
科学研究实验室分析
军事毒气安全
劳动安全，施工安全
化学泄露、事故分析
pGas200-ASM-SC-6s 半导体车间有毒气体快速检测仪技术指标:
BD4主机测试ADC分辨率: 0.025%FS
电化学探头准确度: ±1-2%读数(一般)
长期稳定性: +/-10% /年 (一般)
分析器响应时间：< 10ms
探头响应时间：<1min
仪器使用环境: 温度：-10℃～60℃; 湿度：10%～90%R（无结露）
仪器保存环境: 温度： 0℃～50℃; 湿度：10%～80%R（无结露）
电化学探头直接采样: 温度: 0-40℃; 压力:<1.1 kgf/cm2
供电: 6V充电蓄电池
连续使用时间: >24Hr/每次充电; 电池置放时间1周。
便携式有毒气体快速检测仪测试参数及技术指标：
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技术参数 |
技术 |
说明 |
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PH3-4PH:0.05-20ppm SiH4-4SL:0.05-50ppm AsH3-3E1:0.015-1ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl |
EC EC EC EC EC EC |
扩散式采样; 半导体车间全毒气报警, 有一定的区辩能力. Chlorides对HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有响应; Fluorides对HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有响应; Gas200通过系统甚至可能对H2B6.GeH4,H2Se进行定性定量探测. |
