磁悬浮型TG-M系列
使用磁悬浮轴承可实现完全无油排气、任何定向安装以及更长的维护周期。产品阵容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型号。
磁悬浮式涡轮分子泵的截面
TG1300M
■任何方向
■紧凑的尺寸
■节能
■快速启动和停止
■维修电话
■无振动
■型号无联轴器
■自动校准
■高吞吐量
■转速控制
■串行通信
■NRTL SEMI-S2 CE安全标准
应用
■ 半导体生产
■ 电子枪排气、电离源排气
■ FPD制造
■ 表面处理、表面改性
■ 各种电子元件的制造
■ 分析、检测设备
■ 灯具生产、光学元件生产
■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究
■ 热处理
■ 研究与开发
Inlet flange | VG200 CF200 ISO-B200 | |
Volume flow rate | N2 (L/s) | 1300 |
N(with protective screen) (L/s) | 1230 | |
H2 (L/s) | 1200 | |
Max. compression ratio | N2 | 1×108 |
H2 | 1.5×104 | |
Base pressure | VG・ISO-B/CF (Pa) | <1×10-6 <1×10-7 |
VG・ISO-B/CF (Torr) | <7.5×10-9 <7.5×10-10 | |
Max. throughput※1 | N2 (sccm) | 3000 |
Startup time | (min) | 4~5 |
Shutdown time | (min) | 4~5 |
Max. backing pressure | (Pa / Torr) | 500 / 3.8 |
Recommended backing vacuum pump | (L/min) | ≧250 |
Position | Any orientation | |
Weight (kg) VG, ISO-B/CF | 34 / 42 | |
Controller | TC010MA | |
Special specifications *Contact our sales representative for more information. | -Chemical-use -Thermal insulation TG-MI -Ultra low vibration TG-ML -Ultra high vacuum TG-MU -Against radiation TG-MR | |
*1 ： 使用1000L/min的前级真空泵时。
[使用环境温度]
确保您达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C，水冷型允许环境温度为10-40°C。保证极限压力的冷却水*温度为30°C，冷却水允许温度范围为10-35°C。
[对应气体]
某些类型的要排出的气体可能会损坏泵。
请联系 Osaka Vacuum 获取适用气体类型的列表。
