TG220F
■ 任何方向
■ 紧凑尺寸
■ 节能
■ 快速启动
■ 快速关闭并用煤气排气
■ 耐久结构以适应冲入空气
※冲入测试（连续400次）
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 安全标准NRTL / SEMI-S2 / CE
应用
■ 半导体生产
■ 电子枪排气，电离源排气
■ FPD制造
■ 表面处理，表面改性
■ 各种电子元件的制造
■ 分析、测试设备
■ 灯具生产，光学元件生产
■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究
■ 热处理
■ 研发
*如果消耗腐蚀性气体，请选择我们的化学用途TG-M或TG系列。
| 进气法兰 | VG100 ISO-R100 CF100 | |
| 流量 | N2（L/s） | 220 |
| N2（带防护屏障） （L/s） | 210 | |
| H2（L/s） | 100 | |
| *压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×102 | |
| 基压 | （宾夕法尼亚州） （托尔） | <1×10-6 <7.5×10-9 |
| *吞吐量※1 | （SCCM） | 400 |
| 启动时间 | （分钟） | 1-1.2 |
| 停工时间 | （分钟） | 2.5-3.5 |
| *背压 | （帕/托尔） | 260/2 |
| 的倒吸 真空泵 | （L/min） | ≧80 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG・ISO-R/CF（kg） | 5.5/8 |
| 控制器 | TC223 | |
*1：使用160L/min的后备真空泵时。
[使用环境温度]
确保达到*终压力的环境温度范围为10-23°C。允许的环境温度为风冷类型为10-32°C，水冷类型为10-40°C。冷却水的*温度（保证*终压力）为30°C，冷却水允许的温度范围为10-35°C。
[对应气体]
某些服务气体会腐蚀润滑脂和内部部件。请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。
