TG800F
■ 任何方向
■ 紧凑尺寸
■ 节能
■ 快速启动
■ 快速关闭并用煤气排气
■ 耐久的气流冲击结构
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 安全标准NRTL / SEMI-S2 / CE
应用
■ 半导体生产
■ 电子枪排气，电离源排气
■ FPD制造
■ 表面处理，表面改性
■ 各种电子元件的制造
■ 分析、测试设备
■ 灯具生产，光学元件生产
■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究
■ 热处理
■ 研发
*如果排放腐蚀性气体，请选择我们的化学用途TG-M系列或TG系列。
| 型 | TG800F | TG800F*A*-60 TG800F*W* | |
| 进气法兰 | VG150/ISO-B160/CF160 | ||
| 流量 | N2（L/s） | 820 | |
| N2 （带防护屏障） （L/s） | 750 | ||
| H2（L/s） | 650 | ||
| *压缩 比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 基压 | （帕/托尔） | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| * 吞吐量※1※2 | （SCCM） | 330 | 860 |
| 启动时间※2 | （分钟） | 7-9 | 5.5-7 |
| 停工时间※2 | （分钟） | 27-32 | 12-15 |
| *背 压 | （帕/托尔） | 330/2.5 | |
的倒吸 真空泵 | （L/min） | ≧250 | |
| 位置 | 任何方向 | ||
| 重量 | VG・ISO-R/CF（kg） | 27/26 | |
| 控制器 | TC1104 | TC1103※3 | |
*1：使用500升/分钟的备用真空泵时。
*2：根据电源型号不同。（标准：TC1104）
*3：如果是风冷的，风冷风扇必须更换。（TG800F***-60）
[环境温度使用]
确保达到极限压力的环境温度范围是10-23°C。允许的环境温度为风冷类型为10-32°C，水冷类型为10-40°C。冷却水的*温度（保证*终压力）为30°C，冷却水允许的温度范围为10-35°C。
[对应气体]
一些服务气体会腐蚀润滑脂和内部部件。请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。
