电子背散射衍射（EBSD）是一种基于扫描电子显微镜（SEM)），提供样品显微结构晶体学信息的技术。在EBSD中，电子束与倾斜的晶态样品相互作用，形成衍射花样。衍射花样可以通过荧光屏探测到，它具有所产生处样品的晶体结构和取向特征。因此，衍射花样可用来确定晶体结构及取向、区分晶体上不同的相、表征晶界、和提供有关局部结晶完整性的信息。
EBSD已成为SEM中的一个*的附件，常用来提供晶体学信息。EBSD广泛地应用于许多不同的领域，以帮助材料表征，如下表所示。
AZtec EBSD系统结合了EBSD（ Symmetry S3 ）的速度和灵敏度以及 AZtecHKL软件*的分析性能，为电子背散射衍射（EBSD）和透射菊池衍射（TKD）分析提供了一种功能强大、用途广泛的工具。
行业 | 材料 | 典型的EBSD测量 |
| 金属研究和加工 | 金属，合金 | 晶粒尺寸 |
| 航天 | 金属间化合物 | 晶界表征 |
| 汽车 | 夹杂物/沉淀物/第二相 | 体织构 |
| 核能 | 陶瓷 | 局部织构 |
| 微电子 | 薄膜 | CSL晶界表征 |
| 地球科学 | 太阳能电池 | 再结晶或形变率 |
| 科研领域 | 地质 | 亚结构分析 |
| 半导体 | 相鉴定 | |
| 导体 | 相分数和相分布 | |
| 冰 | 相变 | |
| 金属和陶瓷复合材料 | 断口分析 | |
| 骨头，牙齿 | 晶粒和相间的取向与取向差关系 |
