紧凑、高性能的电磁驱动激光扫描MEMS镜
这是一种电磁驱动的镜面，采用了我们专有的微机电系统（MEMS）技术。通过在镜子下方放置磁铁，使其紧凑。当电流通过镜子周围的线圈，在磁场中通过时，根据弗莱明定律产生洛伦兹力以驱动镜面。我们的MEMS镜面功耗低，光学延伸角宽，镜面反射率高。
■特点
・低电流作
・小尺寸
・宽光学跑角
| 类型 | 一轴线性扫描 |
|---|---|
| 作模式 | 线性模式 |
| 镜面尺寸 | φ2.6毫米 |
| 镜像材料 | 铝合金 |
| 光学跑出角 | ±15° |
| 驱动频率（*） | 100赫兹 |
日本直供滨松光子MEMS镜像S12237-03P
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