INFICON离子电流真空计CDG045D DN16KF 0.1mbar

发布时间:2026-03-23

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INFICON离子电流真空计CDG045D DN16KF 0.1mbar

这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。

经改进后的热阴极电离规,Bayard-Alpert规,可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同气体在相同气压下的电离率不同,这种规在使用时也需要在不同气体下进行。

冷阴极电离规

如图6所示,冷阴极电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法进行气压测量,但与热阴极电离规不同的是,它是利用磁控放电电离气体分子产生离子

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