日本MIYUKI美幸辉 ABR-J50 真空L型阀门
日本MIYUKI美幸辉 ABR-J50 真空L型阀门
L型阀门AB、AE、ABR、AER 系列你可以根据用途选择轴封类型（波纹箱密封、O型圈密封）。16A~50A可用于单作用和双作用模式。所有尺寸均可支持反压支持。
日本原装 MIYUKI 美幸辉 ABR-J50 气动 L 型高真空角阀（JIS-J50 日式螺栓法兰 DN50）
| 型号 | 密封结构 | 极限真空 | 漏率 | 维护 & 成本 | 适用工况 |
|---|---|---|---|---|---|
| ABR-J50 | 金属波纹管无轴封 | 10−6 Pa | 1×10−9 | 造价偏高、无易损件免换轴封 O 圈 | 氦检、半导体镀膜、腔体高温烘烤、高纯气体高真空隔断 |
| AER-J50 | FKM 氟橡胶 O 圈轴封 | 10−5 Pa | 1×10−8 | 高，维保仅更换 O 圈 | 真空脱泡、预抽管路、普通镀膜量产设备 |
JIS 原厂法兰：*匹配日系进口镀膜机、真空炉原装开孔，替换不用改管路、不用重新开孔
波纹管无外泄：杜绝 O 圈老化渗漏，长期稳定保高真空，适配无油干式泵、分子泵机组
洁净低析出：内腔无加工残油，符合锂电、光学、半导体洁净制程要求
自动化配套：可加装 NPN/PNP 阀位感应开关 + DC24V 二位五通电磁阀，对接 PLC 自控产线
