施迈茨10.03.01.00109滤清器VST EVE-TR-8

发布时间:2026-06-03

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 施迈茨10.03.01.00109滤清器VST EVE-TR-8

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

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