日本MIYUKI美幸辉 真空L型阀门 ABR-C100

发布时间:2026-06-03

日本MIYUKI美幸辉   真空L型阀门  ABR-C100 

日本MIYUKI美幸辉   真空L型阀门  ABR-C100 

产品优势

  1. 全金属密封:无滑动橡胶轴封,无有机物析出,洁净制程*,高真空保压稳定

  2. CF 法兰顶配:刀口 + 无氧铜垫片全金属静密封,耐高温、不漏气,高真空系统标配接口

  3. 大通导:内腔流线结构,抽气速率快,缩短腔体抽真空时长,提升设备产能

  4. 自控便捷:可加装 NPN/PNP 阀位反馈 + DC24V 电磁阀,直接对接 PLC 自动化控制

  5. 免维护:波纹管长效耐用,常年生产无需更换轴封配件,运维成本低

应用领域

PVD/CVD 镀膜设备、分子泵机组隔断阀、科研高真空腔体、氦质谱检漏系统、半导体工艺腔体、真空冶金炉

同口径三法兰对比(ABR-100)

型号 法兰型式 密封方式 适用场景
ABR-C100 CF100 刀口法兰 无氧铜金属垫 高真空腔体、氦检、科研、半导体主阀
ABR-N100 KF100 卡箍快拆 氟胶圈 干式泵预抽、量产通用真空管路
ABR-J100 JIS100 日式螺栓法兰 橡胶垫片 日系进口真空炉、镀膜设备替换原厂阀

ABR-C100 (波纹管) VS AER-C100 (O 圈密封)

型号 轴封结构 极限真空 *烘烤温度
ABR-C100 金属波纹管 10−7Pa 200℃全温烘烤
AER-C100 FKM 氟胶 O 圈 10−5Pa ≤150℃,不可高温除气

地理位置

产品名称 气动L型阀
操作方法 空气驱动
系列 AB AE
口径 16A~250A
法兰 KF(西北)·JIS・CF
轴密封 风箱 O型圈
气缸
16A~50A
单/双电兼容
气缸
80A~250A
多动
手柄 ――――――
服役周期16A
~50A
5×105
服务周期
80A~250A
1×105
泄漏体积(Pa·m3/s) 1×10-10 下图 1×10-8 下图
使用区域(宾夕法尼亚州) 105 ~ 10-6 105 ~ 10-5
所需气压(MPa G) 0.4 ~ 0.6
材料:主体 SUS304
阀体填充 氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关 选项
耐热工作温度 主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下)
产品名称 手动L型阀门
操作方法 手动(旋转手柄)
系列 ABR AER
口径 16A~250A
法兰 KF(西北)·JIS・CF
轴密封 风箱 O型圈
气缸
16A~50A
――――――
气缸
80A~250A
――――――
手柄 铝合金
服役周期16A
~50A
5×105 1×105
服务周期
80A~250A
1×105
泄漏体积(Pa·m3/s) 1×10-10 下图 1×10-8 下图
使用区域(宾夕法尼亚州) 105 ~ 10-6 105 ~ 10-5
所需气压(MPa G) ――――――
材料:主体 SUS304
阀体填充 氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关 ――――――
耐热工作温度 主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下)

* 对于空气切换电磁阀,单作用时使用3孔接口,双作用时使用4通或5通口。

* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格(标准法兰、直径、耐压等)。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。


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