日本MIYUKI美幸辉 ABR-N100 真空L型阀门
日本MIYUKI美幸辉 ABR-N100 真空L型阀门
全金属波纹管密封，洁净无析出
阀杆金属波纹管隔绝腔体与大气，无橡胶轴封挥发污染，适配高纯气体、高温烘烤腔体，半导体 / 精密镀膜*。
KF100 快装法兰，拆装便捷
卡箍 + 氟胶圈密封，现场管路拆装快速，通用市面标准 KF 真空管路，替换进口阀不用改配管。
大通流流线内腔
L 型平滑流道、流阻极低，大抽速缩短腔体抽真空时长，提升真空炉、镀膜机稼动率。
原装气动气缸带缓冲
启闭缓冲减震，冲击小、寿命长；可选 NPN/PNP 阀位反馈 + DC24V 电磁阀，直连 PLC 自动化控制。
全工况通用性强
可负压、反压工况使用，适配分子泵主隔断、高真空主阀、高温工艺管路。
| 型号 | 轴封结构 | 极限真空 | 烘烤温度 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| ABR-N100 | 金属波纹管 | 10−7Pa | 200℃ | 半导体、氦检设备、PVD 主阀、高温真空腔体、科研高真空系统 |
| AER-N100 | FKM-O 圈动密封 | 10−5Pa | ≤150℃ | 预抽粗抽阀、普通脱泡、中真空量产设备 |
