日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-N50+MS-PC
日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-N50+MS-PC
开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器 从完全闭合到完全开启至100度的击穿，支持高层系统的输入输出操作，并在停电时通过电磁制动保持位置
概述
■ 这是一个开启控制系统，将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。
■ 气门开口均匀分布为100个部件，贯穿传动轴的工作范围内。
■ 可以通过面板开关手动操作，更高级别系统也可以实现自动操作。
■ 该阀门既可用于可变导导，也可用于全闭合排气管。
地理位置
| 控制器型号 | MS-PC |
|---|---|
| 适用的开口规范阀门类型 | 巴兹加兹 |
| 面板显示 | 4个LED灯（准备/移动/开/关闭） |
| 面板操作 | 电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮 |
| 外部输入输出 | 开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN |
| 外部输入输出输入/输出 | 准备，移动，打开，关闭 |
| 输入电源 | 电压：DC24V±5% 功耗：*95W |
| 参数重写*1 | 数据设置软件 MEXE02（东方马达） |
| 尺寸（W×D×H） | 110毫米×130毫米×141毫米 |
| 质量 | 1公斤 |
| 配件 | 支架 |
| 有线电视（单独出售）*2 |
电机电缆 |
※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。
※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。
适用真空区间：常压～1×10−5Pa，适配中高真空分段破真空、工艺稳压进气；
泄漏标准：内漏≤1×10−9Pa⋅m3/s，阀杆外漏≤1×10−10Pa⋅m3/s，满足半导体、镀膜高真空检漏规范；
材质：阀体 + 蝶板SUS304 不锈钢，阀座 / 轴封 FKM 氟橡胶，适用温度 - 20℃～150℃，兼容氮气、氩气等惰性工艺气体。
伺服电机直驱、无减速齿轮，零回程间隙，微开度进气线性平稳，档位设定后机械自锁无阀位漂移；
KF50 卡箍快装结构，拆装便捷，适配实验室设备频繁拆装调试场景；
低发尘洁净内部构造，无外露摩擦零件，无尘车间可用；断电电磁抱闸锁止当前阀位，规避腔体突发泄压；
阀体无安装方向限制，卧式 / 立式任意安装，启闭运行噪音极低。
中小型光学实验镀膜、卷绕小样蒸镀设备：KF 快装便于腔体拆装，阶梯缓破真空，杜绝膜层针孔不良；
锂电实验室脱泡、小型电芯真空注液设备：分段梯度泄压，防止电解液飞溅损耗工件；
小型 PVD 等离子腔体、台式氦检设备：载气配比、腔体精密稳压控压；
高校科研真空炉、理化试验真空管路：小流量定点升压调试。
