日本MIYUKI美幸辉 GAZ-C63 数字定点电动真空阀-高斯摩（成都）国际贸易有限公司

日本MIYUKI美幸辉 GAZ-C63 数字定点电动真空阀

阀体 GAZ-C63 核心参数

工作区间：大气压 1×10⁵Pa～1×10⁻⁶Pa（高真空）内漏≤1×10−10Pa⋅m3/s，阀杆外漏≤1×10−10Pa⋅m3/s，满足氦检漏、腔体烘烤除气验收标准

阀体、蝶板：SUS304 不锈钢精锻；标配 FKM 氟胶密封，可选 Kalrez 全氟醚耐蚀密封圈适用温度：℃～℃，支持腔体高温烘烤除气、低放气高纯真空工况

伺服电机直驱无减速齿轮，零回程间隙，全行程均分00～99 共 100 档定点开度（00 全关 / 99 全开），档位锁止无漂移；

断电电磁抱闸自锁阀位，失电保持开度，杜绝小腔体突发破空、镀膜基材氧化报废；

内置*值编码器，断电重启自动记忆原点，现场无需重复校零；

无尘低发尘内部结构，启闭静音，立式 / 卧式 / 侧向任意方位安装；DN63 紧凑型通径，用于微量进气、阶梯缓泄压。

供电：DC24V±5%，额定功耗 95W，尺寸 110×130×141mm

本地面板：拨码设定档位→MOVE 定点运行，OPEN 一键全开；4 路 LED（就绪 / 运行 / 全开 / 全关）指示灯；

PLC 远程 I/O：8 位二进制编码远程下发开度，无源触点回传阀位信号，适配设备整机联锁；

上位调试：MEXE02 软件联机修改阀门内部参数。

成套型号	控制模式	配套电控	适用工艺
GAZ-C63+MS-PC	00~99 档位定点控气	MS-PC	量产固定工艺、分段缓破空、定点稳压
BAR-C63+MS-VP	0~10V 模拟无极调节	MS-VP	PID 动态闭环稳压、连续微量调流

应用领域

XPS/AES 科研分析腔体、光学磁控溅射镀膜、小型 PVD 蒸镀、实验室高真空试验炉、精密氦检工装、半导体小型离子注入设备。

开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器从完全闭合到完全开启至100度的击穿，支持高层系统的输入输出操作，并在停电时通过电磁制动保持位置

概述

■ 这是一个开启控制系统，将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。

■ 气门开口均匀分布为100个部件，贯穿传动轴的工作范围内。

■ 可以通过面板开关手动操作，更高级别系统也可以实现自动操作。

■ 该阀门既可用于可变导导，也可用于全闭合排气管。

地理位置

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。