日本MIYUKI美幸辉 BAZ-C160 数字定点电动真空阀
日本MIYUKI美幸辉 BAZ-C160 数字定点电动真空阀
BAZ：原厂00~99 档位定点电动蝶阀系列，专属搭配 MS-PC 数字定点控制器，不可配 MS-VP 模拟控制器
C=CF160 高真空刀口法兰，DN160（160A）全金属刀口密封法兰，适配高真空腔体标准 CF 管路
标准出厂成套：BAZ-C160 阀体 + MS-PC 控制器，DC24V 原装整配
阀体内部泄漏：≤1×10−9Pa⋅m3/s
阀杆轴封外漏：≤1×10−10Pa⋅m3/s，满足氦检、腔体烘烤工艺验收
伺服电机直驱无齿轮减速、零回程间隙，全行程均分00~99 共 100 档定点开度（00 全关 / 99 全开），设定阀位锁止无漂移、重复控流精度高；
断电电磁抱闸自锁阀位，失电瞬间锁死当前开度，防止大腔体瞬间破空、镀膜工件报废；
内置*值编码器，断电重启自动记忆原点，现场无需重复零点校准；
内腔流线大通导、低流阻，低发尘无摩擦碎屑，立式 / 卧式 / 侧向任意方位安装；DN160 大口径，适配大型腔体大流量阶梯进气、分段缓破真空。
开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器 从完全闭合到完全开启至100度的击穿，支持高层系统的输入输出操作，并在停电时通过电磁制动保持位置
概述
■ 这是一个开启控制系统，将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。
■ 气门开口均匀分布为100个部件，贯穿传动轴的工作范围内。
■ 可以通过面板开关手动操作，更高级别系统也可以实现自动操作。
■ 该阀门既可用于可变导导，也可用于全闭合排气管。
地理位置
| 控制器型号 | MS-PC |
|---|---|
| 适用的开口规范阀门类型 | 巴兹加兹 |
| 面板显示 | 4个LED灯（准备/移动/开/关闭） |
| 面板操作 | 电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮 |
| 外部输入输出 | 开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN |
| 外部输入输出输入/输出 | 准备，移动，打开，关闭 |
| 输入电源 | 电压：DC24V±5% 功耗：*95W |
| 参数重写*1 | 数据设置软件 MEXE02（东方马达） |
| 尺寸（W×D×H） | 110毫米×130毫米×141毫米 |
| 质量 | 1公斤 |
| 配件 | 支架 |
| 有线电视（单独出售）*2 |
电机电缆 |
※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。
※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。
