TORAY 东丽 MS-500 分体式多点氧化锆氧分析仪
TORAY 东丽 MS-500 分体式多点氧化锆氧分析仪
能够同时测量多达 8 个点
显示从 ppm 级到 * 的广泛浓度范围
安装在半导体制造设备、真空设备等中。
直插式传感器 （NW 16/25/40 真空法兰）
传感器采用特殊涂层，耐用性更强
多点集约：1 台替代*多 8 台 LC 一体式仪表，柜体空间、采购成本大幅节约；
真空直装：探头直接插入真空腔体，适配高真空惰性气氛（N₂/Ar 保护）微量残氧检测；
耐腐探头：传感器表面特殊抗中毒涂层，耐微量有机挥发物，真空工况寿命 3～5 年；
工控适配：EtherCAT 总线标配选型，无缝对接日韩 / 国产半导体 PLC 自动化产线。
半导体：晶圆扩散炉、溅射 / 刻蚀腔体、多腔镀膜设备残氧在线监控；
热处理：真空钎焊炉、粉末冶金烧结炉、锂电负极烧结窑惰性气氛控氧；
特种气体：高纯氮、高纯氩罐体 / 管道 ppb 级微量氧检测、多工位手套箱监测。
| 测量原理 | 氧化锆浓缩池类型 | ||
|---|---|---|---|
| 类型 | 分离型（转换器：壁挂式;传感器：直接插入式） | ||
| 显示系统 | 4 位数字显示（浓度显示） | ||
| 测量范围 |
0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自动系列 |
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| 重复性 |
满量程的 ±0.5% 以内;范围 0-1% 或更高 在满量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以内，以较大者为准;范围小于 0-1 % 浓度在 0-1 ppm 之间，大气压范围不在保修期内。 |
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| 测量点数量 | 1~8 | ||
| 样气要求 | 压力 | 10-3至 200KPa（*压力） | |
| 流量 | 0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min（在自然分散状态下测量） | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0 至 100°C | ||
| 别人 | 不得含有腐蚀性气体（氟气、氯气、硫化气等）、含有有机硅的气体、易燃物质（包括气体）、油或湿气 | ||
| 参比气体 | 大气层 | ||
| 记录器输出 | 仅传输输出 | ||
| 传输输出 | RS-232C 系列 | ||
| 警报输出 | 没有 | ||
| 预热时间 | 6 分钟或更短 | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92 mm （W） ×44 mm （H）×120 mm （D）（不包括突出部分） | |
| MS-510（转换器） | 100 mm （W） × 40 mm （H）×88 mm （D）（不包括突出部分） | ||
| 传感器单元 | SD16NW型 | 全长 100mm（传感器 ⌀ 11×39，机身 ⌀ 40×51） | |
| SD25NW型 | 全长 100mm（传感器 ⌀ 11×42，机身 ⌀ 40×48） | ||
| SD40NW 系列 | 全长 100mm（传感器 ⌀ 11×41，机身 ⌀ 40×49） | ||
| 重量 | MS-500（控制器） | 约 0.6 kg | |
| MS-510（转换器） | 约 0.5 kg | ||
| 传感器单元 | SD16NW型 | 约 0.2 kg | |
| SD25NW型 | 约 0.2 kg | ||
| SD40NW 系列 | 约 0.35 kg | ||
| 外部连接 | 任何真空法兰（NW16、25 或 40） | ||
| 权力 | 24VDC±10% | ||
