EBARA 荏原 EST100WN 螺杆式干式真空泵玉崎科学仪器原装现货

EBARA 荏原 EST100WN 螺杆式干式真空泵（加强防腐型）

核心定位：重工业级、高腐蚀 / 高粉尘 / 高温制程干泵，半导体 / 光伏 / 化工常用。

荏原EST100WN螺杆式干式真空泵

一、型号含义

• EST：系列名（螺杆干式真空泵）
• 100：抽速 10,000 L/min（≈167 L/s）
• WN：加强防腐（W = 耐 HF / 高卤素，N=Ni 基合金 + PFA 内衬）

二、关键规格（50/60Hz）

• 抽气速度：10,000 L/min
• 极限真空：≤0.4 Pa
• 额定功率：5.5 kW
• 冷却方式：水冷（5–8 L/min）
• 进气法兰：DN50（NW50）
• 排气法兰：NW40
• 重量：约330 kg
• 电源：3φ AC200–480V

三、核心特点

1. 强防腐能力：转子镍基合金、腔体 PFA 特氟龙内衬，耐 HF、高浓度卤素、大量粉尘。
2. 高温防沉积：泵体主动控温，反应副产物（如 NH₄Cl）不冷凝、不附着。
3. 大抽速 + 高稳定性：10,000 L/min，适配 CVD、刻蚀、ALD、扩散等高负载制程。
4. 智能控制：转速自动调节、LCD 可编程控制器、预警 / 报警存储。
5. 全干运行：无油无水，无污染、易维护。

四、应用场景

• 半导体：CVD、PECVD、刻蚀、ALD、扩散
• 光伏：硅片制程、薄膜沉积
• 化工：腐蚀性气体、高温反应、粉尘环境

五、同系列对比（常用型号）

型号	抽速 (L/min)	极限真空 (Pa)	功率 (kW)	防腐等级
EST10N	1,000	≤2.7	2.3	标准 (Ni-P)
EST25N	2,500	≤0.4	3.0	标准 (Ni-P)
EST100WN	10,000	≤0.4	5.5	加强 (PFA + 镍基合金)
EST200WN	20,000	≤0.4	7.5	加强

六、维护要点

• 定期检查水冷流量与温度
• 按周期更换轴承 / 密封件
• 氮气吹扫系统维护（防腐蚀）
• 控制器参数校准与报警记录分析

七、采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司  原装现货供应
负责人：¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸ （林经理）
公司网站：www.shashinkagaku.com
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学