一、概述
LD-450/SD 是日本东丽（TORAY）工程推出的分体式氧化锆氧气浓度计，由SD 直插式传感器与LD-450 壁挂式转换器组成，专为真空环境、惰性气体密闭腔体（如镀膜机、密封炉、手套箱）设计。设备基于氧化锆浓差电池原理，实现从ppb 级微量氧到 * VOL 全量程*测控，具备极速响应、高稳定性、长寿命等优势，是半导体、光伏、精密制造领域氧含量监测的主流选型。
二、测量原理
LD-450/SD 采用高温氧化锆浓差电池测量原理，核心为 SD 传感器内置的氧化锆陶瓷传感芯体：
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传感器加热至700℃左右工作温度时，氧化锆陶瓷仅允许氧离子单向穿透，具备离子传导特性。
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传感器分为被测气侧（接触待测气体）与参比气侧（连通大气），两侧氧分压差异形成浓差电势，电势值与氧浓度呈对数关系。
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LD-450 转换器采集电信号后，自动换算为 ** 氧浓度（ppm/VOL%）或氧分压（10⁻²⁰～10⁰ atm）** 数值，4 位数码管实时显示。
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原理优势：无电解液、无零点漂移，规避传统电化学传感器通病，支持长期连续在线监测。
三、产品结构与特点
（一）分体式模块化架构
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SD 传感器（测量端）：直插式设计，直接安装于真空腔体或管道，耐高温、抗污染。
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LD-450 转换器（处理端）：薄型壁挂式（厚度仅 40mm），安装于安全区域，远离高温与干扰。
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连接方式：屏蔽线缆（标准 2m，*长可定制 10m），实现传感器与主机远距离分离安装。
（二）核心特点
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宽量程，高精度：测量范围覆盖0.001ppm（ppb 级）～100vol% O₂，支持自动 / 固定量程切换；氧分压显示 10⁻²⁰～10⁰ atm。重复性：≥1% 量程时 ±0.5% FS；＜1% 量程时 ±1% FS 或 ±1ppm（取大值）。
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快响应，低延迟：传感器响应时间 ≤1 秒（T90＜3s），整机预热 **≤6 分钟 **，实时捕捉氧浓度波动。
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高耐用性，长寿命：传感器采用特殊抗污染涂层+ 内置保护机制，抗腐蚀、耐粉尘，适配长期连续运行；设计寿命长，维护成本低。
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灵活安装，适配性强：SD 传感器提供NW16/NW25/NW40 真空法兰或R3/8 螺纹两种安装接口，适配多数真空设备标准法兰口。
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丰富输出，易集成：
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LD-450-T 型：隔离 4～20mA 模拟输出 + 2 点浓度报警 + 1 点异常触点。
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LD-450-C 型：RS-232C 串口通信（D-sub 9 针），可直接对接上位机 / PLC。
四、详细技术参数
（一）整机参数
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参数
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规格
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型号
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LD-450（转换器）+ SD（传感器）
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测量原理
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氧化锆浓差电池型
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显示方式
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4 位数码管（浓度 / 氧分压显示）
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测量范围
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0.001ppm～100vol% O₂；10⁻²⁰～10⁰ atm（可选 0-1/10/100/1000ppm/1/10/* 多量程）
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重复性
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≥1% 量程：±0.5% FS；＜1% 量程：±1% FS 或 ±1ppm（取大值）
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响应时间
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≤1 秒（传感器）；T90＜3s（整机）
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预热时间
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≤6 分钟
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样气压力
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10⁻³Pa～200kPa（*压力，真空～微正压通用）
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样气温度
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0～100℃
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样气湿度
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露点低于环境温度（无冷凝）
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样气流量
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0.5～5L/min 或自然扩散（0L/min）
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供电电源
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DC24V 2A
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功耗
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待机 15VA；升温 60VA
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环境温度
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0～40℃（室内、非防爆区域）
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（二）SD 传感器参数
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参数
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规格
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类型
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直插式（无显示）
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接口
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NW16/NW25/NW40 真空法兰 或 R3/8 螺纹
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尺寸
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探头长约 100mm
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重量
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约 0.5kg
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材质
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接液部耐高温合金，表面抗污染涂层
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（三）LD-450 转换器参数
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参数
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规格
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安装方式
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壁挂式
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尺寸
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185×155×40mm（宽 × 高 × 厚）
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重量
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约 1.2kg
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输出类型
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T 型：4-20mA + 2 路报警 + 1 路异常触点；C 型：RS-232C 串口
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报警功能
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可设置 HH/H/L/LL 两点浓度报警，1 点设备异常报警
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五、典型应用场景
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半导体行业：晶圆镀膜机、刻蚀机、扩散炉等真空设备氧含量监测，防止氧化污染。
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光伏行业：晶硅 / 薄膜电池生产中惰性气体保护腔、密封炉的微量氧检测。
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精密制造：金属热处理、真空焊接、3D 打印惰性环境氧浓度监控。
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科研实验室：手套箱、厌氧舱、真空腔体的氧含量精密测量。
六、结
LD-450/SD 氧化锆氧气分析仪凭借分体式设计、宽量程、高精度、极速响应、长寿命等核心优势，成为真空与惰性环境氧含量监测的产品。其稳定的氧化锆传感技术、灵活的安装方式及丰富的输出接口，可满足半导体、光伏、精密制造等多领域的严苛监测需求，助力制程稳定性与产品品质提升。
