通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
高温区域均热化 氦气密封 瞬停对策 *的耐腐蚀性 通信功能特点
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
“Model:UR”可比“Model:HR”更加高温化。
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
采取了1000msec以内瞬停对策。
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
CVD装置 蚀刻装置 灰化装置 ALD、ALH 等用途
*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。规格
型号 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 使用泵 干式真空泵 HR60 HR90 HR60 HR90 HR90 机械增压泵 - - PRC-003A PRC-006A PRC-012A *
排气速度50Hz m3/h
(L/min)62(1030) 112(1860) 359(5,980) 653(10,900) 1,012(16,900) 60Hz m3/h
(L/min)80(1333) 126(2100) 365(6,080) 701(11,700) 1,051(17,500) 到达压力 Pa 5 0.67 *排气压力
（吸入圧力）大气压 *1 *排气压力
（吸入圧力）Pa 1~ 大气压 吸气口 (CE规格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100) 排气口 KF40 质量 kg 0 420 电源 三相 VAC
(Hz)200(50/60), 220(60) 电流值 稳定时 A 7.1
(at 200V)11.2
(at 200V)7.8
(at 200V)12.9
(at 200V)15.4
(at 200V)*值 A 7.3
(at 200V)11.8
(at 200V)8.1
(at 200V)13.8
(at 200V)18.9
(at 200V)冷却水一次圧力 MPa 0.1~0.3 冷却水出入口压差 MPa >0.1 冷却水流量 L/min >5.0 吹扫气 一次压力 MPa 0.1~0.5 二次压力 MPa 0.05~0.1 N2吹扫 轴 SLM 5 气镇 SLM 0~45
