NFK 南国工业 NK-2300V JIS 标准真空法兰不锈钢波纹管

NK-2300V实物图

真空柔性波纹管

一、基础产品信息

：NFK 南国フレキ工業（南国工业）型号：NK-2300V全称：JIS VG-VF 真空法兰式真空柔性金属软管定位：高真空设备管路补偿波纹管，适配半导体、镀膜、真空炉等高真空系统，吸收管道安装错位、热胀位移、泵体振动；同真空系列区分：2300V=JIS 真空法兰、2300KF=KF 快拆真空法兰、2300PT = 小管端焊接微型真空软管南国フレキ工業

二、材质结构（无外层编织网，真空薄波纹管）

1. 波纹管本体：CLT 柔性 SUS304/SUS316L 不锈钢一体成型，管壁薄、伸缩弯曲性能优异

2. 两端法兰：一侧 VG 公真空法兰、一侧 VF 母真空法兰，成套 JIS 标准配对法兰

3. 端部接管：SUS304 不锈钢，法兰与波纹管一体化焊接，无渗漏缝隙

4. 整体无编织网，降低真空放气率，满足高洁净真空工况要求

三、核心技术参数

1. 公称通径：10A～100A 全规格

2. 法兰标准：JIS VG/VF 真空配对法兰

3. 定制长度：200mm～3000mm 任意长度定制

4. 压力范围：全真空 (FV)～0.1MPa

5. 极限漏率：≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/Sec，高真空密封标准

6. 使用温度：-15℃ ~ +150℃

7. 适配介质：干燥工艺氮气、氩气、洁净空气、无腐蚀惰性气体

8. 使用限制：仅补偿轴向 / 横向 / 角向位移，无法吸收管道扭转应力，安装禁止扭曲软管

四、产品核心优势

1. JIS 标准 VG-VF 配对真空法兰，真空管路通用互换公母法兰成套设计，直接对接日系真空炉、镀膜机、半导体真空腔体，无需转换接头，密封稳定性强。

2. CLT 软波纹管，位移补偿量大薄柔性波形，小弯曲半径安装，*补偿设备装配偏差、温度热胀冷缩、真空泵振动。

3. 极低放气不锈钢材质，适配高真空环境无橡胶、无编织层，不锈钢一体结构，真空环境下气体析出少，不污染真空腔体洁净度。

4. 高密封漏率，半导体真空制程标配漏率达高真空等级，适用于蒸镀、溅射、晶圆刻蚀等高精密真空设备。

5. 全不锈钢耐腐蚀，无尘车间长期稳定使用可选 SUS316L 材质，耐轻微酸碱工艺气体，无锈蚀粉尘污染真空腔体。

6. 一体焊接成型，无渗漏隐患波纹管与法兰无缝焊接，杜绝真空管路漏气、压降问题。

五、NK-2300 真空全系列型号区分

表格

型号	连接形式	适用场景	口径
NK-2300V	JIS VG/VF 真空法兰	日系大型真空炉、半导体设备主管	10A~100A
NK-2300KF	KF (NW) 快拆真空法兰	实验室小型真空设备、便于拆装维护	KF10~KF50
NK-2300PT	管端焊接微型真空软管	微小管路、小型真空阀支管	3.18~12.7mm 小管径

六、典型应用场景

1. 半导体晶圆设备：刻蚀机、薄膜沉积、离子注入真空管路

2. 光学镀膜、蒸镀、溅射真空腔体柔性连接段

3. 工业真空热处理炉、钎焊炉、真空烧结设备

4. 实验室高真空测试仪器、质谱仪、电子显微镜气路

5. 真空泵、分子泵、涡旋泵进出口减震补偿软管

七、选型与使用注意事项

1. 介质限制：仅适用于不腐蚀不锈钢的干燥惰性气体，强酸、卤素腐蚀气体不可使用；

2. 不可用于高温过 150℃工况，高温真空需选用耐高温真空波纹管；

3. 安装预留弯曲余量，禁止强行扭转、拉伸波纹管校正管道错位；

4. 装配法兰时均匀锁紧螺栓，避免单边受力导致真空泄漏；

5. 高洁净半导体工况统一选用 SUS316L 波纹管与法兰材质。