NFK 南国工业 NK-2300KF KF 快拆法兰真空不锈钢波纹管

一、基础产品信息

：NFK 南国フレキ工業（南国工业）型号：NK-2300KF全称：两端 KF (NW) 标准真空快拆法兰高真空柔性金属软管定位：实验室、小型真空设备、半导体机台支管真空补偿波纹管，采用 KF 卡箍快速拆装结构，无编织网、低放气，吸收管道错位、热胀位移、真空泵振动，区别 NK-2300V 日系 VG/VF 法兰款。

NK-2300KF实物图

真空泵安装实拍

二、材质结构（真空低放气结构）

1. 波纹管主体：CLT 柔性薄不锈钢，可选 SUS304 通用款、SUS316L 半导体高纯款，无外层编织网，降低真空气体析出

2. 两端接头：一体式 KF 标准不锈钢法兰，法兰可小幅旋转对位，波纹管与法兰全自动氩弧焊接，零泄漏缝隙

3. 配套密封：KF 标准氟橡胶 Viton 密封圈，耐高低温、低出气

三、核心技术参数

1. 标准口径：KF10、KF16、KF25、KF40、KF50；KF50 以上支持定制

2. 定制长度：100mm～3000mm 任意长度可选

3. 压力区间：全真空 (FV)～0.1MPa，短时* 0.3MPa

4. 极限氦检漏率：≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/Sec，满足高真空制程标准

5. 使用温度：-15℃～+150℃（Viton 密封）

6. 适配介质：干燥氮气、氩气、洁净空气等无腐蚀性惰性工艺气体

7. 性能限制：仅补偿轴向、横向、角向位移，不可承受管道扭转应力

四、产品核心优势

1. KF 标准快拆法兰，免焊接、检修便捷搭配标准真空卡箍快速锁紧拆卸，实验室设备、腔体支管频繁拆装维护*，大幅缩短停机检修时间，法兰可旋转，现场管路对位简单。

2. CLT 软波纹结构，狭小空间适配波纹细密、*小弯曲半径小，适配设备内部紧凑布线、晶圆传送 EFEM 狭小真空管路，减震效果优异，隔绝分子泵、旋片泵振动传导至腔体。

3. 无编织网低放气设计，高真空洁净无橡胶、编织层等易析出部件，不锈钢一体结构，真空腔体无粉尘、气体污染，适配半导体精密镀膜、刻蚀高洁净真空环境。

4. 全不锈钢一体焊接，密封稳定不漏气波纹管与法兰无缝熔焊，无夹层漏气隐患，长期真空工况压力稳定，不会出现真空度衰减。

5. 轻量化不锈钢结构，布线安装省力相比硬真空管道重量大幅降低，单人即可完成装配布线，适配小型实验仪器、小型真空炉轻量化管路布局。

6. 两种材质按需选型SUS304：通用实验室、普通镀膜设备，高；SUS316L：半导体晶圆设备、高真空精密仪器，耐微量腐蚀气体、无金属离子析出。

五、NK-2300 真空全系列型号对比

表格

型号	连接法兰	口径范围	适用场景
NK-2300KF	KF 快拆法兰 KF10~KF50	实验室、小型腔体、真空泵支管、半导体机台内部管路，需频繁拆装
NK-2300V	JIS VG/VF 真空配对法兰 10A~100A	日系大型真空炉、镀膜主管道、工厂大型真空设备主管
NK-2300PT	小管端焊接微型接头	微型真空阀、微量气体小型支管

六、典型应用场景

1. 半导体行业：刻蚀机、PVD/CVD 镀膜设备、晶圆传输腔体真空支管

2. 实验室仪器：扫描电镜 SEM、质谱仪、真空测试平台、小型真空烧结炉

3. 光学真空镀膜：小型蒸镀机、溅射设备真空泵减震连接段

4. 各类真空泵（旋片泵、分子泵、干泵）进出口柔性补偿管路

5. 科研校、检测设备小型真空腔体柔性配管

七、选型与使用注意事项

1. 介质限制：仅可输送不腐蚀不锈钢的干燥惰性气体，卤素、强酸腐蚀气体禁止使用；

2. 安装预留弯曲余量，严禁强行扭转、拉扯波纹管校正管道错位；

3. 法兰装配时均匀锁紧卡箍，单边受力易造成真空泄漏；

4. 半导体高洁净工况统一选用 SUS316L 波纹管 + 法兰；

5. 长期工作温度不得过 150℃，温会加速密封圈老化漏气。