玉崎MTL现货MDH-6012

发布时间:2026-07-14

MTL MDH-6012 大中空直驱电机

日本 MTL MDH-6012 μDD 大中空直驱伺服电机,φ20mm 大通径中空 + 2.1 N・m 峰值扭矩,用一体化直驱架构把传动链缩到*短,成为中大尺寸精密转台的换代*。

一、φ20mm 大通径中空,多管路线缆一孔穿过

整机外径 φ60mm,机身长 37.5mm(6012 版),方形法兰 6×M3 安装孔 PCD70。中心贯通φ20mm 大直径通孔,真空管路、多股信号线、气路液管可一次性并行穿过,无需外置旋转接头组。

对比小中空电机只能走单根管路,φ20mm 通孔可以集成真空吸附 + 正压吹气 + 多通道信号 + 光纤,一套电机搞定所有旋转介质传输,机械设计极大简化。内壁光滑,可定制安装螺纹对接标准旋转接头。

二、直驱零背隙,大转台也能角秒级分度

无齿轮无皮带,中空转子直接输出扭矩,回程间隙理论归零。标配高分辨率*值编码器,双向重复定位精度 ±1 脉冲,整圈分度一致性极高。

18 极磁路设计,齿槽转矩极低,300rpm 额定转速区间转矩波动极小,匀速旋转成像无条纹。针对晶圆 AOI 检测、光学扫描这类匀速性要求高的场景,直驱的转速平稳度是减速方案比不了的。

三、2.1 N・m 峰值扭矩,中负载从容应对

MDH-6012 峰值扭矩2.1 N·m,连续额定扭矩约 0.58 N・m,长机身 6018 版峰值可达 3.2 N・m。高刚*叉滚子轴承承载能力强,径向 / 轴向载荷大,允许倾覆力矩高,12 寸晶圆载具、中型光学平台直接安装没问题。

转子惯量经过优化,启停加速性能优异,多工位分度节拍快。对比同级别中空谐波方案,直驱电机的动态响应更快,分度到位时间更短,整线产能直接提升。

四、免维护长寿命,洁净车间友好

无齿轮无柔轮,没有疲劳易损件,理论寿命只受轴承限制 —— 交叉滚子轴承的寿命远高于谐波减速器的柔轮疲劳寿命。无润滑脂飞溅、无金属磨屑,适配半导体洁净车间标准。

B 级绝缘,0~40℃连续运行。DC24V/48V 供电,四重硬件保护,兼容主流工业总线。MTL 原厂驱动器整套供应,调试上手快,量产设备故障率低。

五、工程师选型避坑:φ60 系列三档扭矩怎么选

MDH-60 系列按机身长度分三档,安装尺寸完全兼容:

表格

型号机身长峰值扭矩连续额定适用负载
MDH-600631.5mm1.1 N·m0.29 N·m轻载光学、小尺寸转盘
MDH-601237.5mm2.1 N·m0.58 N·m通用 8 寸晶圆、中型转台
MDH-601843.5mm3.2 N·m0.87 N·m12 寸晶圆、重载分度盘

选型原则:晶圆检测、光学转台优先选 6012,扭矩裕量充足;特别重的负载或高加速场景上 6018。别只看额定扭矩,转盘加速瞬间需要峰值扭矩扛,裕量不够会丢步。

六、供货与服务保障

落地适配全场景

中大尺寸中空精密转台想要告别减速机构背隙、降低长期维保成本,MTL MDH-6012 大中空直驱电机,是进口中大口径 μDD 里的高选型。

深圳仓现货供应,提供转台完整方案选型咨询,样机可申请测试验证。


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