日本 ORC UV-M10-S 台式光量计 UV-M10-P 嵌入式曝光联动照度计

一、产品基础概述

UV-M10-P/S 是日本 ORC 奥克制作所可联动产线设备的固定式紫外积分光量计，专为高压汞灯曝光设备闭环工艺管控开发，分两款机型：

1. UV-M10-P（嵌入机型）：机身轻薄，可直接嵌入曝光设备控制柜、机台内部集成安装；

2. UV-M10-S（台式机型）：独立台式箱体，放置设备台面、操作台使用，适合产线单机独立管控。整机支持设定曝光阈值、输出开关控制信号，可自动启停 UV 照射设备，广泛用于半导体、液晶、PCB 光刻固化产线，搭配可互换 UV-SD/SN 系列接收器探头使用，适配多波段汞灯光源。

UV-M10-S台式整机

操作面板细节

二、核心技术参数

1. 适配接收器探头UV-SD25/SN25（UVC 240~280nm）、UV-SD35/SN35（标准 310~385nm，标配）、UV-SD42/SN42（长波 350~450nm）

2. 测量量程

• 辐照度：档位 1 0.01~10.00mW/cm²；档位 2 0.1~50.0mW/cm²

• 累积光量：0.01~999.9 mJ/cm²

• 计时范围：0.01~999.9 秒

1. 测量精度：对标 ORC 标准紫外源误差≤±2%，重复精度 ±2% 内

2. 供电规格：AC85~264V 宽电压工业电源，适配各国车间供电

3. 信号接口（D-sub 接口）输入：远程启动、远程停止；输出：继电器常开 / 常闭触点、光量到达报警信号，可直接联动 UV 曝光机电源快门；通讯：RS232 数据上传电脑记录工艺数据

4. 工作温度主机：0~40℃；接收器探头：0~60℃，适配设备高温腔体环境

5. 机身尺寸UV-M10-S 台式：W210×D180×H85mm；UV-M10-P 嵌入式为窄幅薄型面板结构

三、核心功能亮点

1. 10 组光量参数记忆存储内置 10 通道配方存储，不同光刻胶、不同产品工艺可预设专属曝光能量，一键调取，无需反复设置参数，多品种换线效率大幅提升。

2. 三模式实时显示切换测量过程可自由切换辐照度（mW/cm²）、累积光量（mJ/cm²）、照射时间（sec） 三种数值界面，同步监控光源强度与曝光时长。

3. 闭环自动曝光控制（核心特色）预先设定目标曝光光量，设备实时积分累积；达到设定值后自动输出继电器信号，关闭 UV 光源、快门，实现全自动标准化曝光，杜绝人工操作误差。

4. 量程报警提醒光照强度标、光量到达、光源异常衰减时面板指示灯 + 继电器报警输出，及时预警灯管老化、设备故障，减少晶圆 / PCB 报废。

5. 分体式可替换探头更换探头即可切换 UVC 清洗、标准光刻、长波固化全波段工艺；微型探头可伸入密闭曝光腔体，在线长期固定监测。

6. 完整数据追溯RS232 串口导出每批次照度、光量、时间数据，生成车间工艺报表，满足半导体工厂审厂、品质追溯要求。

四、UV-M10-P 与 UV-M10-S 机型区分

表格

型号	安装方式	适用场景	机身特点
UV-M10-P 嵌入型	设备控制柜内嵌、机台内置集成	自动化连续量产产线、多联机台	薄窄面板，节省设备内部空间
UV-M10-S 台式型	操作台独立摆放、单机小型曝光机	实验室、单台研发设备、少量批量产线	独立金属机箱，带底座，无需开孔安装

五、接收器选型规则

1. UV-SN 系列（半导体 / 液晶）光谱曲线匹配晶圆光刻胶，半导体、TFT 面板、载板光刻产线优先选用：SN25/SN35/SN42

2. UV-SD 系列（PCB / 通用工业）适配线路板、油墨固化、普通 UV 设备，通用款：SD25/SD35/SD42

六、主流应用场景

1. 半导体晶圆 / 载板光刻老式汞灯步进曝光机，自动管控 RDL 布线、微凸块工艺曝光能量，闭环控制光源快门；

2. PCB 线路板制造内层线路、阻焊油墨自动曝光产线，批量标准化管控固化光量；

3. 液晶显示面板制程TFT 阵列、彩膜、偏光片 UV 固化设备在线监测；

4. 实验室研发设备研发型 UV 照射机，固定监测光刻胶、UV 树脂光敏性能；

5. 全自动流水线 UV 固化设备传送带式连续照射设备，联动光源实现*曝光启停。