玉崎爱发科ULVAC现货VDN902

双级油旋片高真空泵怎么选？ULVAC VDN301 / 401 / 602 / 902，抽速覆盖30~90 m³/h，镀膜/干燥/分析仪器主力前级

高真空前级选不对，抽速浪费钱、极限不够白费力。

真空镀膜、真空干燥、冷冻干燥、分析仪器——双级油旋片泵是高真空系统的“主力前级”。抽速选小了，主泵带不动，极限压力下不去；选大了，成本高、能耗大、安装空间不够。

更隐蔽的坑：很多工程师以为双级泵极限压力都一样，实际气镇阀开启后极限压力会显著上升，含湿工艺必须开气镇阀防乳化，但开了之后真空度能不能满足工艺要求？很多人买回去才发现不行。还有，油品不通用，用错油直接影响极限压力和泵寿命。

ULVAC VDN301 / VDN401 / VDN602 / VDN902 爱发科双级油旋片真空泵，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa（气镇关），抽速覆盖 30~90 m³/h（50Hz），全系标配气镇阀和强制供油系统，镀膜、干燥、分析仪器、真空成形等场景的标准配置。

四款型号核心参数对比

项目	VDN301	VDN401	VDN602	VDN902
设计抽速 (50Hz)	30 m³/h (500 L/min)	40 m³/h (667 L/min)	60 m³/h (1000 L/min)	90 m³/h (1500 L/min)
设计抽速 (60Hz)	36 m³/h (600 L/min)	48 m³/h (800 L/min)	72 m³/h (1200 L/min)	—
极限压力 (气镇关)	6.7×10⁻¹ Pa	6.7×10⁻¹ Pa	6.7×10⁻¹ Pa	6.7×10⁻¹ Pa
极限压力 (气镇开)	2.0 Pa	2.0 Pa	2.0 Pa	2.0 Pa
电机功率 (4P)	1.1 kW	1.5 kW	2.2 kW	3.7 kW
电压/频率	200/220/380/400/415-50 200/220/380/400/460-60	同左	同左	同左
油量	1.0~2.5 L	1.0~2.5 L	2.5~4.0 L	2.5~4.0 L
使用油	ULVOIL R-7	ULVOIL R-7	ULVOIL R-7	ULVOIL R-7
吸气口径	VG40	VG40	VG50	VG50
排气口径	VG40	VG40	VG40	VG40
重量	59 kg	61 kg	89 kg	104 kg

数据来源：ULVAC VDN系列规格表

一、VDN301：小型双级前级，分析仪器/实验室高真空标配

VDN301 是VDN系列*小号，抽速 30 m³/h（50Hz）/ 36 m³/h（60Hz）。适合小腔体、高真空要求的场景——质谱仪、检漏仪、电子显微镜的前级泵，或小型真空镀膜实验系统。

• 电机功率 1.1 kW（4P），能耗低

• 重量 59 kg

• 油量 1.0~2.5 L 可变

• 吸气口径 VG40，排气口径 VG40

• 强制供油系统，全压强范围稳定运行

• 低噪音设计，适合实验室环境

适合谁：质谱仪、检漏仪、电子显微镜、小型镀膜机、研发实验室。

二、VDN401：中型双级主力，镀膜/干燥/成形黄金搭档

VDN401 是VDN系列**型号，抽速 40 m³/h（50Hz）/ 48 m³/h（60Hz）。抽速适中，既能满足中小型真空镀膜机、真空干燥箱的前级需求，也适合作为罗茨泵机组的前级泵。

• 电机功率 1.5 kW（4P）

• 重量 61 kg

• 油量 1.0~2.5 L 可变

• 吸气口径 VG40

• 高能效 IE3 多电压电机，宽电压覆盖 200~460V

适合谁：光学镀膜机、真空干燥箱、冷冻干燥机、真空成形设备、罗茨泵前级。

三、VDN602：大型双级主力，大腔体高真空前级

VDN602 抽速 60 m³/h（50Hz）/ 72 m³/h（60Hz）。适合大腔体、高抽速需求——大型真空镀膜机、大型真空干燥设备的前级泵。

• 电机功率 2.2 kW（4P）

• 重量 89 kg

• 油量 2.5~4.0 L 可变，延长换油周期

• 吸气口径 VG50，比小号型号更大

• 通过 CE

适合谁：大型光学镀膜机、大型真空干燥机、真空热处理炉、真空铸造设备。

四、VDN902：*号双级泵，工业级高真空前级

VDN902 是VDN系列*号，抽速 90 m³/h（50Hz）。适合大型工业真空设备——大型镀膜生产线、大型真空炉、半导体制造设备的前级泵。

• 电机功率 3.7 kW（4P）

• 重量 104 kg

• 油量 2.5~4.0 L 可变

• 吸气口径 VG50

适合谁：大型真空镀膜生产线、大型真空热处理炉、半导体制造设备、大型罗茨泵机组前级。

五、VDN系列共同优势：双级旋片 + 强制供油 + 低噪音

VDN系列采用双级旋片式机械结构，相比单级泵极限压力更低（6.7×10⁻¹ Pa）。全系标配三大核心优势：

• 强制供油系统：高吸气压强下也能稳定运转，大气压至真空全压强范围连续运行

• 气镇阀 (Gas Ballast)：处理水蒸气时开启，防止机油乳化

• 可变油量设计：VDN301/401为1.0~2.5L，VDN602/902为2.5~4.0L，延长补油周期

低噪音设计：通过优化设计和精密加工实现低噪音运行。维护方便：油量确认、补油、换油在同一方向操作，泵体可在不拆进气管路的情况下拆卸。

高能效多电压电机（IE3）：ULVAC研发，宽电压覆盖 200~240V / 380~460V，功耗极低。全系使用 ULVOIL R-7 真空泵油。

六、工程师选型避坑：VDN301 / 401 / 602 / 902 怎么选

选型三步法：

1. 算抽速：前级泵抽速 ≥ 主泵抽速 × 20%（扩散泵），或按ULVAC手册配比。小腔体/分析仪器选VDN301，中型设备选VDN401，大型设备选VDN602/902

2. 看极限压力是否满足工艺：气镇关 6.7×10⁻¹ Pa，气镇开 2.0 Pa。含湿工艺必须开气镇阀，确认2.0 Pa是否满足工艺要求

3. 看安装空间和电源：VDN301/401重约60kg，VDN902重104kg；全系宽电压，现场供电基本都兼容

绝不能做的事：

• 抽强腐蚀性气体、大量颗粒物（必须加装过滤器）

• 用错油品——VDN系列必须使用 ULVOIL R-7，用其他油品会导致极限压力上升、泵寿命缩短

• 含湿工艺不开气镇阀——机油乳化报废，维修成本远高于开阀运行

七、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：VDN301 / 401 常用规格 现货；VDN602 / 902 订货 2~4 周

• 配套一站式采购：KF卡箍、中心支架、波纹管、真空电磁阀、ULVAC真空泵油 R-7、油雾过滤器、油回收装置

• 技术支持：免费提供抽速计算、前级管路口径选型、安装指导、故障远程排查

八、落地适配全场景

• 真空镀膜：蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜

• 真空干燥：真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

• 分析仪器：质谱仪、检漏装置

• 真空成形：真空包装、真空吸附、搬运、真空成形、真空铸造

• 气体处理：气体置换、充填、真空隔热

九、结尾转化

双级高真空前级选型怕配错、怕现货等不及？

ULVAC VDN301 / VDN401 / VDN602 / VDN902 双级油旋片真空泵

深圳京都玉崎现货/订货直发，配套 ULVOIL R-7 真空泵油同步供应，工程师可协助现场/远程指导安装。

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