日本爱发科ULVAC VSN1501单级旋片式油回转真空泵 深圳京都玉崎现货

大抽速单级油旋片泵怎么选？ULVAC VSN1 / 7501，抽速覆盖150~750m³/h，工业级镀膜/热处理/干燥主力前级

大抽速工业泵选错，基础施工和电费都比泵贵

真空镀膜生产线、大型真空热处理炉、半导体制造设备——这些场景需要的是大抽速单级油旋片泵，抽速150m³/h起步，*750m³/h。很多工程师选型只看抽速，忽略了振动和噪音——大泵振动大，不加基础工程的话二楼三楼根本没法装；噪音高的话车间工人受不了。

更隐蔽的坑：VSN系列分空冷和水冷两种冷却方式，选型时没考虑厂房通风条件，空冷泵装在不通风的密闭空间，夏天直接过热停机。还有，VSN6501和VSN7501的极限压力是8.0 Pa（气镇关），比VSN1501/2401的5.3 Pa略高，含湿工艺开气镇后极限压力更高，工艺能不能满足要提前算清楚。

ULVAC VSN1501 / VSN2401 / VSN6501 / VSN7501 单级旋片式油回转真空泵，强制供油+水冷缸体设计，高吸入压强下也能稳定运转，低振动结构无须大规模基础工程，可直接安装于厂房2楼、3楼。

四款型号核心参数对比

项目	VSN1501	VSN2401	VSN6501	VSN7501
设计抽速 (50Hz)	150 m³/h (2500 L/min)	240 m³/h (4000 L/min)	650 m³/h (10833 L/min)	750 m³/h (12500 L/min)
设计抽速 (60Hz)	180 m³/h (3000 L/min)	288 m³/h (4800 L/min)	—	—
极限压力 (气镇关)	≤ 5.3 Pa	≤ 5.3 Pa	≤ 8.0 Pa	≤ 8.0 Pa
极限压力 (气镇开)	≤ 67 Pa	≤ 67 Pa	≤ 70 Pa	≤ 70 Pa
电机功率	5.5 kW (4极)	7.5 kW (4极)	22 kW	22 kW
电源	200~240V / 380~460V	200~240V / 380~460V	220-240V / 380-415V	220-240V / 380-415V
使用油	ULVOIL R-72	ULVOIL R-72	ULVOIL R-7	ULVOIL R-7
油量	8.0 ~ 10.5 L	8.0 ~ 10.5 L	—	—
冷却水流量	4 L/min	5 L/min	—	—
吸气口径	VG80	VG80	DN100 ISO-K	DN100 ISO-K
排气口径	VG50	VG50	—	—
重量	231 kg	267 kg	—	—

注：极限压力为皮拉尼真空计测定值。VSN6501/VSN7501详细油量、重量等参数请咨询。VSN6501和VSN7501可选空冷或水冷。

一、VSN1501：中型工业级前级，镀膜/炉子/干燥主力

VSN1501 抽速 150 m³/h（50Hz）/ 180 m³/h（60Hz），极限压力 ≤ 5.3 Pa（气镇关）。适合中等规模真空设备的主力前级——中小型镀膜机、真空热处理炉、冷冻干燥机。

• 电机功率 5.5 kW（4极），能耗适中

• 重量 231 kg

• 油量 8.0 ~ 10.5 L 可变，延长补油周期

• 冷却水流量 4 L/min，冷却水压 ≤ 0.3 MPa

• 吸气口径 VG80，排气口径 VG50

• 噪音低于 74 dB(A)（到达极限压力时，带油雾过滤器，距泵1米处测定值）

适合谁：中小型镀膜机、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉、冷冻干燥机、检漏装置。

二、VSN2401：中大型工业级前级，高抽速主力

VSN2401 抽速 240 m³/h（50Hz）/ 288 m³/h（60Hz），极限压力 ≤ 5.3 Pa（气镇关）。抽速比VSN1501提升60%，适合更大腔体、更高抽速需求的场景——大型镀膜机、大型真空炉。

• 电机功率 7.5 kW（4极）

• 重量 267 kg

• 油量 8.0 ~ 10.5 L 可变

• 冷却水流量 5 L/min

• 吸气口径 VG80，排气口径 VG50

• 噪音低于 74 dB(A)（到达极限压力时，带油雾过滤器，距泵1米处测定值）

适合谁：大型镀膜机、溅射设备、离子镀设备、大型真空热处理炉、真空干燥设备。

三、VSN6501：大抽速工业泵，650m³/h镀膜/半导体产线主力

VSN6501 抽速 650 m³/h（50Hz）/ 10833 L/min，极限压力 ≤ 8.0 Pa（气镇关）/ ≤ 70 Pa（气镇开）。适合大型真空镀膜生产线、半导体制造设备等大抽速场景。

• 电机功率 22 kW

• 电源：220-240V / 380-415V

• 3叶片型构造，大幅降低低频振动

• 内置式油雾过滤器，无需外置装置，结构紧凑

• *排水气能力，可直接搭载罗茨泵使用

• 冷却方式：空冷或水冷可选——非开放式厂房环境选用水冷可有效节能

适合谁：大型真空镀膜生产线、溅射/离子镀设备、半导体制造设备、大型真空热处理炉、烧结炉。

四、VSN7501：*号工业泵，750m³/h大抽速

VSN7501 抽速 750 m³/h（50Hz）/ 12500 L/min，极限压力 ≤ 8.0 Pa（气镇关）/ ≤ 70 Pa（气镇开）。VSN系列*号，适合大腔体、高抽速的工业场景。

• 电机功率 22 kW

• 电源：220-240V / 380-415V

• 3叶片型构造，低振动设计

• 内置式油雾过滤器，结构紧凑

• 冷却方式：空冷或水冷可选

适合谁：大型真空镀膜生产线、大型半导体制造设备、大型真空热处理炉、真空烧结炉、大型检漏系统。

五、VSN系列共同优势：低振动 + 低噪音 + 全压强连续运行

VSN系列是ULVAC单级旋片式油回转真空泵，通过简化构造实现小型化、轻量化。四大核心优势：

• 低振动：采用3叶片型构造，能达到高速化（50Hz、1500r/min），大幅降低低频振动，无须大规模基础工程，可安装于厂房2楼、3楼

• 低噪音：到达极限压力时噪音低于 74 dB(A)（VSN1501/2401，带油雾过滤器，距泵1米处测定值）

• 全压强连续运行：采用强制供油方式和缸体水冷方式，高吸气压强下也能稳定运转。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后，可在大气压以下全压强范围连续运转

• 维护便捷：油量确认、补油、换油在同一操作方向，8~10.5L可变油量延长补油周期

六、工程师选型避坑：VSN系列怎么选

选型三步法：

1. 算抽速：腔体容积大、抽速要求高 → VSN6501/7501；中型设备 → VSN2401；中小型设备 → VSN1501

2. 看冷却方式：VSN6501/7501可选空冷或水冷——厂房通风良好选空冷，密闭空间或高温环境必须选水冷

3. 看极限压力是否满足工艺：VSN1501/2401气镇关 ≤5.3 Pa，VSN6501/7501气镇关 ≤8.0 Pa。含湿工艺开气镇后极限压力上升至67~70 Pa，确认是否满足工艺要求

*不能做的事：

• 抽强腐蚀性气体、大量颗粒物（必须加装前置过滤器）

• 用错油品——VSN1501/2401使用 ULVOIL R-72，VSN6501/7501使用 ULVOIL R-7

• 大抽速泵不装油雾过滤器——VSN系列可配油雾过滤器、油回收装置，强烈建议选配

• 含湿工艺不开气镇阀——机油乳化报废

• VSN6501/7501在密闭空间选空冷——夏天过热停机

七、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：VSN1501 / 2401 常用规格 现货或1~2周；VSN6501 / 7501 订货 3~4周

• 配套一站式采购：ULVOIL R-72 / R-7真空泵油、油雾过滤器、油回收装置、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件

• 技术支持：免费提供抽速计算、冷却方式选型建议、安装指导、基础工程评估、故障远程排查

八、落地适配全场景

• 真空镀膜：蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀设备

• 真空热处理：真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉

• 真空干燥：真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

• 半导体制造：照明器件、电子器件、光学器件制造

• 检漏系统：自动检漏装置、真空成形、真空铸造

• 气体处理：气体置换、充填、真空隔热

• 真空搬运：真空包装、真空吸附、搬送

大抽速工业油旋片泵选型怕振动大、怕冷却选错、怕现货等不及？

ULVAC VSN1501 / VSN2401 / VSN6501 / VSN7501

深圳京都玉崎现货/订货直发，配套真空泵油及油雾过滤器同步供应，工程师可协助现场/远程指导安装与基础工程评估。

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