日本爱发科ULVAC ULVAC NB100B通用型罗茨真空泵 深圳京都玉崎现货

发布时间:2026-07-15

罗茨泵选型配什么前级?ULVAC NB100B / 300B / 600B / 1200B / 2400B,抽速覆盖95~2000m³/h,洁净真空镀膜/半导体/干燥主力增压泵

罗茨泵配错了,抽速翻倍的效果出不来

真空镀膜、半导体制造、真空干燥、真空热处理——油旋片泵单独抽,抽速不够、极限压力下不去。加一台罗茨泵,抽速可以翻几倍,极限压力也能降一个数量级。但很多工程师选罗茨泵只看抽速,忽略了和前级泵的匹配——罗茨泵不能单独抽大气,必须配前级泵才能工作。前级泵选小了,罗茨泵带不动;选大了,成本浪费。

更隐蔽的坑:罗茨泵的冷却方式很多人选错。NB系列在530Pa以下可空冷,但530Pa以上连续运转必须用水冷。选型时不看工艺压力区间,空冷泵在高负荷下连续运行,直接过热咬死。还有,NB系列分*号B系列和老型号A系列——B系列是产*号,A系列是日本产老型号,参数有差异,买之前要分清。

ULVAC NB100B / NB300B / NB600B / NB1200B / NB2400B 通用型罗茨真空泵,腔体内无润滑油,对水蒸气、溶剂等气体有稳定的排气性能。与油旋片泵或水环泵组合使用,可在 1.3×10³ ~ 1.3×10⁻¹ Pa 范围内显著提高抽气速率。

五款B系列*号核心参数对比

项目NB100BNB300BNB600BNB1200BNB2400B
抽速 (50Hz)95 m³/h280 m³/h500 m³/h1000 m³/h2000 m³/h
抽速 (60Hz)115 m³/h330 m³/h1200 m³/h
极限压力 (气镇关)≤4.0×10⁻¹ Pa≤4.0×10⁻¹ Pa≤4.0×10⁻¹ Pa≤6.7×10⁻¹ Pa≤6.5×10⁻¹ Pa
电机功率0.4 kW0.75 kW2.2 kW3.7 kW7.5 kW
使用油ULVOIL R-4ULVOIL R-4ULVOIL R-4ULVOIL R-4ULVOIL R-4
油量0.35 L0.70 L1.50 L1.90 L4.0 L
冷却方式空冷水冷 2.0 L/min水冷 2.0 L/min水冷 3.0 L/min水冷 3.0 L/min
重量24 kg49 kg77.5 kg110 kg255 kg
吸气口径VG50VG80VG80VG100

注1:极限压力为皮拉尼真空计测量值。如用麦氏真空计测量,NB100B/300B/600B为 4.0×10⁻² Pa,NB1200B为 6.7×10⁻² Pa,NB2400B为 6.5×10⁻² Pa

注2:冷却方式——对于530Pa以下可用空冷,但530Pa以上连续运转必须用水冷

注3:抽速随前级泵的性能而变化,表中数据为与标准前级泵组合使用时的数据

一、NB100B:小型罗茨泵,分析仪器/小腔体增压*

NB100B 是NB系列*小号,抽速 95 m³/h(50Hz)/ 115 m³/h(60Hz)。适合小腔体、对洁净真空有要求的场景——分析仪器、检漏设备、CO₂激光设备的前级增压

适合谁:分析仪器、检漏设备、CO₂激光设备、小型真空干燥设备。

二、NB300B:中型罗茨主力,镀膜/干燥/热处理黄金搭档

NB300B 抽速 280 m³/h(50Hz)/ 330 m³/h(60Hz)。适合中等规模真空设备的增压需求——镀膜机、真空干燥箱、真空热处理炉。

适合谁:光学镀膜机、溅射设备、真空干燥箱、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。

三、NB600B:中大型罗茨泵,大腔体高抽速主力

NB600B 抽速 500 m³/h(50Hz)。适合大腔体、高抽速需求的场景——大型真空镀膜机、大型真空干燥设备、半导体制造。

适合谁:大型光学镀膜机、大型真空干燥机、真空热处理炉、半导体制造设备。

四、NB1200B:大型罗茨泵,1000m³/h高抽速

NB1200B 抽速 1000 m³/h(50Hz)/ 1200 m³/h(60Hz)。适合大型腔体、极高抽速需求的场景——大型真空镀膜生产线、大型真空炉。

适合谁:大型真空镀膜生产线、大型真空热处理炉、真空烧结炉、半导体制造设备。

五、NB2400B:*号罗茨泵,2000m³/h工业级增压

NB2400B 是NB系列*号,抽速 2000 m³/h(50Hz)。适合大型工业真空系统——大型镀膜生产线、大型半导体设备、大型真空炉。

适合谁:大型真空镀膜生产线、大型半导体制造设备、大型真空热处理炉、真空烧结炉。

六、NB系列共同优势:洁净真空 + 稳定排气 + 高吸入压运行

NB系列是ULVAC通用型罗茨真空泵,腔体内无润滑油。四大核心优势:

材质:所有铸件采用铝合金材料,散热快、体积小、重量轻。

B系列 vs A系列:

七、工程师选型避坑:NB系列怎么选

选型三步法:

  1. 算抽速:小腔体/分析仪器 → NB100B;中型镀膜/干燥 → NB300B;大型设备 → NB600B/1200B;大型产线 → NB2400B

  2. 看冷却方式:NB100B为空冷,无需接水;NB300B及以上为水冷。工艺压力过530Pa连续运行,必须用水冷

  3. 配前级泵:罗茨泵不能单独抽大气,必须配前级泵。标准匹配如下

*不能做的事:

八、供货与服务保障

九、落地适配全场景

罗茨泵选型怕配错前级、怕冷却选错、怕现货等不及?

ULVAC NB100B / 300B / 600B / 1200B / 2400B 罗茨真空泵

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