日本爱发科ULVAC NRL60A干式真空泵 深圳京都玉崎现货

干式真空泵选型怕腐蚀、怕高温？ULVAC NRL60A / 90A / 180A，抽速70~200m³/h，PVD/CVD/刻蚀工艺耐腐蚀

干式泵选不对，腐蚀性气体半年报废一台

PVD、CVD、刻蚀、Si单晶炉——这些工艺排出的活性气体和粉尘，对干式真空泵的耐腐蚀性是致命考验。很多工程师选干式泵只看抽速，忽略了防腐表面处理和低温均热化设计。普通干式泵抽几个月腐蚀性气体，转子涂层剥落、泵体穿孔，维修费比买新的还贵。

更隐蔽的坑：干式泵的极限压力是在通入5.0 SLM氮气密封气体时测定的，实际工艺中如果不通氮气或通入其他气体，极限压力会变化。还有，NRL系列必须通冷却水和氮气才能运行，选型时不考虑厂务条件，买回去发现没水没气，设备根本开不起来。

ULVAC NRL60A / NRL90A / NRL180A 干式真空泵，标准零部件采用高硬度并经优异的防腐蚀特殊表面处理，低温领域实现均热化，尤其适用于希望提高流量、缩短排气时间的重要工艺腔体排气。

三款型号核心参数对比

项目	NRL60A	NRL90A	NRL180A
抽速 (50Hz)	70 m³/h (1167 L/min)	116 m³/h (1933 L/min)	200 m³/h (3333 L/min)
抽速 (60Hz)	84 m³/h (1400 L/min)	140 m³/h (2333 L/min)	240 m³/h (4000 L/min)
极限压力*	≤ 5 Pa	≤ 5 Pa	≤ 5 Pa
*吸入压力	1 Atm	1 Atm	1 Atm
电机功率 (2极)	2.2 kW	3.7 kW	7.5 kW
使用油	BARRIERTA J100(E) / FOMBLIN YL-VAC 25/6	同左	同左
油量 (大气侧/真空侧)	0.5 L / 0.3 L	0.7 L / 0.6 L	0.6 L / 0.8 L
冷却水流量	5 L/min	5 L/min	5 L/min
氮气流量	5 SLM	5 SLM	5 SLM
重量	128 kg	188 kg	268 kg
吸气口径	VG50	VG80	VG80
排气口径	NV40	NV40	NV40

注：极限压力为氮气（密封气体）在5.0 SLM时的测定值。

冷却水要求：进水压力 0.1~0.3 MPa，进出水压差 0.1 MPa，进水温度 10~30℃（无结露）。氮气要求：进气压力 0.1~0.5 MPa，调节压力 0.05~0.1 MPa（运转时）。

一、NRL60A：小型耐腐蚀干泵，活性气体/分析仪器

NRL60A 抽速 70 m³/h（50Hz）/ 84 m³/h（60Hz），极限压力 ≤ 5 Pa。适合小腔体、需要耐腐蚀性的场景——CVD、刻蚀等活性气体排气，或作为涡轮分子泵、机械罗茨泵的前级泵。

• 电机功率 2.2 kW（2极），能耗适中

• 重量 128 kg

• 吸气口径 VG50，排气口径 NV40

• 油量：大气侧 0.5 L，真空侧 0.3 L

• 冷却水流量 5 L/min，氮气流量 5 SLM

适合谁：CVD设备、刻蚀设备、溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入、Si单晶炉排气。

二、NRL90A：中型耐腐蚀干泵，镀膜/热处理主力

NRL90A 抽速 116 m³/h（50Hz）/ 140 m³/h（60Hz），极限压力 ≤ 5 Pa。适合中等规模、需要耐腐蚀的真空工艺——溅射镀膜、热处理、液晶注入。

• 电机功率 3.7 kW（2极）

• 重量 188 kg

• 吸气口径 VG80

• 油量：大气侧 0.7 L，真空侧 0.6 L

适合谁：溅射镀膜设备、热处理设备、液晶注入设备、冷冻干燥等水蒸气排气。

三、NRL180A：大型耐腐蚀干泵，大流量工艺腔体排气

NRL180A 抽速 200 m³/h（50Hz）/ 240 m³/h（60Hz），极限压力 ≤ 5 Pa。适合大腔体、高流量需求的耐腐蚀工艺——大型PVD/CVD设备、半导体制造。

• 电机功率 7.5 kW（2极）

• 重量 268 kg

• 吸气口径 VG80

• 油量：大气侧 0.6 L，真空侧 0.8 L

适合谁：大型PVD/CVD设备、半导体制造设备、大型热处理炉、产生粉尘的工艺排气。

四、NRL系列共同优势：低温均热化 + 防腐蚀表面处理 + 低噪音

NRL系列是ULVAC干式真空泵，在低温领域实现均热化，尤其适用于希望提高流量、缩短排气时间的重要工艺腔体排气。三大核心优势：

• 优良的耐腐蚀性：标准零部件采用高硬度并经优异的防腐蚀特殊表面处理，降低腐蚀性气体对泵体内部的腐蚀程度

• 低噪音、低振动：的低噪音设计和精密加工，达到低噪音化

• 维护便捷：油量确认、补油、换油在同一操作方向

选购件：可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

五、工程师选型避坑：NRL系列怎么选

选型三步法：

1. 算抽速：小腔体/CVD/刻蚀 → NRL60A；中型溅射/热处理 → NRL90A；大型PVD/半导体 → NRL180A

2. 确认厂务条件：NRL系列必须提供冷却水（5 L/min）和氮气（5 SLM） ，厂务不具备则无法使用

3. 确认工艺气体：腐蚀性气体 → 必须选NRL系列（防腐蚀表面处理）；非腐蚀性气体 → 可考虑其他干式泵

*不能做的事：

• 不通冷却水运行——过热损坏

• 不通氮气密封气体运行——极限压力无法保证

• 抽大量液体或颗粒物——损坏泵体

• 用错润滑油——必须使用 BARRIERTA J100(E) 或 FOMBLIN YL-VAC 25/6

六、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：NRL60A / 90A / 180A 订货 3~4周

• 配套一站式采购：BARRIERTA J100(E)润滑油、消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器

• 技术支持：免费提供厂务条件评估、抽速计算、安装指导、故障远程排查

七、落地适配全场景

• 活性气体排气：CVD、刻蚀等

• 非活性气体排气：溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入

• 粉尘工艺排气：Si单晶炉等

• 前级泵：涡轮分子泵、机械罗茨泵的前级泵

• 水蒸气排气：冷冻干燥等

八、结尾转化

耐腐蚀干式泵选型怕厂务条件不匹配、怕腐蚀损坏？

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