| 技术参数 | HiPace 300 M，搭配 TM 700 |
|---|---|
| 氢气抽速 | 170 l/s |
| 氦气抽速 | 215 l/s |
| 氩气抽速 | 250 l/s |
| 氮气抽速 | 255 l/s |
| 氢气压缩比 | 5 · 10⁵ |
| 氦气压缩比 | 1 · 10⁸ |
| 氩气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| 氮气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| *终转速下的氩气气体流量 | 13 hPa l/s |
| *终转速下的氮气气体流量 | 28 hPa l/s |
| 0.1 hPa HV 压力下氢气的气体流量 | 5 hPa l/s |
| 0.1 hPa HV 压力下氦气的气体流量 | 8 hPa l/s |
| 0.1 hPa HV 压力下氮气的气体流量 | 10 hPa l/s |
| 适用于氮气的*前级真空 | 20 hPa |
| 启动时间 | 2 *小 |
| 可选通信接口 | Profibus、Profinet、Ethercat、Semi E74 |
| 标准通信接口 | RS-485，远程 |
| 安装方向 | 任意 |
| 声压级（EN ISO 2151） | 45 dBA |
| 重量（约） | 13.1 kg |
| 进气口 | DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-F |
| 排气口 | DN 16 ISO-KF |
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