日本现货 SAKAGUCHI坂口电热 高纯度碳进行石墨化 DFP-1

发布时间:2026-08-17
FABMATE是Poco Graphite公司开发的一种产品,它采用高纯度碳进行石墨化,并经精密加工成特定形状,然后在表面进行非晶碳处理。
这种处理进一步提升了FABMATE的固有性能,使其使用寿命比石英延长10倍以上。这些特性使其广泛应用于半导体制造中的笼式电路板和塔式电路板。

特征
采用100 级
高纯度洁净度制造的产品,是半导体行业等对洁净环境要求极高的行业的理想选择。
具有强耐酸结构,
不会被清洗过程中使用的氢氟酸液体或强酸性腐蚀性气体腐蚀,因此是石英的理想替代品。
可在高温下使用。
在惰性气氛中*可使用温度达 2500°C,在空气中*可使用温度达 510°C。
塔板、仪表板和其他可更换部件
都是单元化的,因此即使电路板的一部分损坏,也可以部分更换,从而节省了成本。
  • 详细介绍

材料属性示例

成绩 DFP-1 DFP-2 DFP-3
强度(室温) 压缩力(kg/ cm² 1,500
弯曲(kg/ cm² 900
拉伸强度(kg/ cm² 700
硬度 77
平均粒径(μm) <4
电阻率(21℃)(μΩcm) 1,350
热导率(21℃)(kcal/mh℃) 104
热膨胀系数(室温-1000℃)(×10 h-6h /℃) 8.4
平均孔径(μm) 0.8 0.8 0.3
平均密度(克/立方厘米 1.82 1.82 1.86
氧化起始温度(℃) 460 510 470
ppm-灰分 700 <5 700

 

各大气压下的*工作温度

气氛 氧气 二氧化碳 H2 N2 阿尔
*工作温度 510℃ 750℃ 1100℃ 1500℃ 2500℃

 

目的

  • 塔板
  • 仪表盘
  • 晶圆载体
  • LPCVD盒式
  • 电子束坩埚
  • 气体注入管
  • 热风发生器元件
  • 离子播种机部件
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