VAT徽拓 67.0 对称式调节阀 热销
VAT徽拓 67.0 对称式调节阀 热销
67.0系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻与清洗工艺而设计，用作下游控制阀和隔离阀。
工艺腔室中的气体流动特性会直接影响工艺的速率与质量。尽管在工艺设计中，气体的进气过程历来备受关注，但下游的流动同样为工艺优化提供了潜在空间。
通常情况下，晶圆周围气体流动越均匀，晶圆表面的气体反应就越均匀且同步。
这不仅在气体引入阶段成立，在气体从腔室排出时也同样适用。由于出口位置设计或阀门操作过程中的流道变化，可能导致气体分布不均，从而阻碍气体排出或造成流速不均匀。两者都可能因气体暴露时间不同以及对流流动不均衡而对晶圆产生不利影响。此外，它们还会导致工艺气体消耗量增加和工艺时间延长。
在整个工艺周期内优化的气体流动设计是解决方案。67.0对称控制阀为此方法奠定了新的基石。
经过流场优化的设计还使工艺腔室得以采用全新构型。凭借其的开闭机制，气体流动在整个开闭循环中保持对称，从而实现前所未有的流量与压力控制。“轻触式”隔离功能进一步增强了这一特性。67.0的运动极为柔和，可有效避免任何闭合冲击，从而杜绝颗粒物的激活。
67.0的另一大优势在于其占地面积小，所需安装空间比其他解决方案更少。
结合经过流量优化的淋浴头与腔体设计，67.0实现了前所未有的工艺控制水平。它为提升良率品质、缩短工艺周期并由此提高生产效率打开了新的大门。
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