EV‑PA500：小型轻量化风冷无油干泵，单相宽电压 100‑230V，多级非接触罗茨结构；定位实验室、小型设备前级泵，SEMI‑S2 合规，不需要冷却水。
| 项目 | EV‑PA500 |
|---|---|
| 泵类型 | 多级非接触罗茨无油干式真空泵 |
| 标称抽速 | 500 L/min；气镇开启：430 L/min |
| 极限真空 | 0.5 Pa（气镇 OFF）；2.0 Pa（气镇 ON） |
| *水蒸气处理量 | 约 250 g/h（开启气镇） |
| 进气口 | NW25 KF 快装 |
| 排气口 | NW25 KF 快装 |
| 冷却方式 | 强制风冷，无需冷却水 |
| 供电 | 单相 AC100‑230V，50/60Hz，电压波动 ±10% |
| 电源容量 | 0.66 kVA |
| 极限真空运行功率 | 0.27 kW |
| 噪音 | 58 dB(A) |
| 外形 W×D×H | 189 × 482 × 272 mm |
| 整机重量 | 21 kg（非常轻便） |
| 通讯与 IO | 面板显示；RS485 通讯；报警输出；远程启停 I/O |
| 标配 | 内置气镇阀、进气过滤器；把手，可移动摆放 |
| CE、SEMI‑S2、NRTL |
定位：前级粗抽泵，不能直接获得高真空，必须搭配分子泵使用。
