VAT徽拓 09.1 带保护环的高压闸阀
VAT徽拓 09.1 带保护环的高压闸阀
气体流中副产物含量过高，可能导致阀门故障，并因沉积物的形成而引发非计划性维护。配备保护环的09.1型高压闸阀可有效避免这一问题。凭借其具有自清洁功能的特殊楔形结构及保护环设计，即使阀座上存在大量沉积物，该阀门仍能可靠地启闭。由于闸板采用楔形设计，沉积物会被专门推离阀座或闸板密封面，从而始终确保可靠的密封性能。此外，保护环通过在阀门处于开启状态时完全覆盖阀体，有效防止沉积物在阀体腔内积聚。
09.1 HV 闸阀在高达1巴的压差下仍能完全正常工作。
该09.1 HV带保护环的闸阀已在多种工艺条件下应用于严苛工况，其*的可靠性已在晶圆厂内得到充分验证，并可轻松集成至各类应用场景。
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