原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司负责人：¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ （林经理）
公司网站：www.shashinkagaku.com
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N：KF (NW) 快卸法兰
I：ISO‑F 法兰
J：JIS 法兰
C：CF 刀口法兰
例：B‑C160、BH‑I250、G‑J160
动作模式：0° 全关 / 90° 全开，只有开关，无中间调节开度，双作用气缸，可选弹簧复位单作用
结构：齿轮齿条传动，气缸自带末端气垫缓冲，降低启闭冲击噪音；阀体薄，流导高，抽气速度快；无流向限制，任意角度安装（水平 / 垂直 / 倾斜均可）
适用：普通真空管路通断、真空炉、镀膜机粗抽管路、真空机组隔断；PLC 自动化控制，选配微动开关输出开 / 关信号
动作模式：三工位：0° 全关 → 0‑45° 小开度慢抽 / 慢破空 →90° 全开快抽；45° 开度可机械限位自定义设定，单阀替代主阀 + 旁路针阀，简化管路布局
核心优势：破真空时小开度缓慢进气，抑制气流冲击，保护薄膜、晶圆、精密试样，避免工件被气流吹损；大口径设备尤其 BH 系列
适用：光学镀膜、锂电脱气腔体、溅射设备、对气流冲击敏感工艺腔体
动作模式：0‑90° 全行程连续无级开度调节，仅依靠洁净压缩空气驱动气动伺服机构，不需要伺服电机；内置阀位反馈，可外接 MGCS‑11 控制器做 PID 闭环压力控制，稳定腔体真空压力
响应速度快，开度锁定稳定，大通导；球面多点压紧双向密封，正反向压差均可保持密封性能
适用：镀膜工艺压力调节、中小型腔体稳压、科研实验真空调压；不想布置电机布线的设备
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 驱动方式 | 齿轮齿条气动；气源压力 0.4‑0.6MPaG，洁净干燥无油压缩空气 |
| 压力工作区间 | 10⁵Pa（常压） ~ 10⁻⁵Pa（高真空） |
| 泄漏率 | 阀体内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；阀杆轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂 |
| 过流材质 | 阀体、蝶板 SUS304，镜面电解抛光，低放气低发尘 |
| 密封件 | 标准 FKM 氟橡胶；腐蚀 / 高温工况升级 Kalrez 全氟醚密封圈 |
| 耐温 | FKM：‑25~120℃；Kalrez：‑30~150℃；阀体*烘烤 150℃ |
| 机械寿命 | ≥100 万次循环 |
| 法兰规格 | KF (NW)/ISO‑F/JIS/CF；口径 DN25‑DN400 |
| 电气选配 | 微动开关 NPN/PNP，阀门到位信号输出对接 PLC |
| 工况场景 | 系列 | 代表型号 |
|---|---|---|
| 普通管路开关通断，追求 | B 系列 | B‑C160、B‑C200 |
| 腔体破真空需要慢泄压，保护工件，防止冲料 | BH 系列 | BH‑I160、BH‑J250 |
| 需要连续调节真空压力，不想用电动机，气源充足 | G 系列 | G‑J100、G‑J160，搭配 MGCS‑11 控制器 |
现货库存：B/BH/G 国内流通主流型号原装现货，可直接出库；
订货交期：特殊法兰、特殊密封、大口径型号日本原厂订货；可提供原厂检测报告、氦检报告、说明书；
成套方案：可配套 MGCS‑11 真空压力控制器，实现阀门 + 压力闭环整套系统；
技术支持：选型核对、工况确认，支持批量设备配套采购。
提示：市场存在仿品、翻新阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂资料。
