原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司负责人：¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ （林经理）
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J：JIS 日标法兰；I：ISO‑F 法兰；C：CF 刀口法兰；N：KF (NW) 快卸法兰
例：L‑I160、GH‑I250、GR‑C200
驱动：双作用气动气缸，可选弹簧复位单作用；气源 0.4‑0.6MPa，气缸自带末端气垫缓冲，降低冲击噪音。
结构：薄面间尺寸，大通导、流阻小；阀板铝合金轻量化；球压多点密封，反向压差依然保持可靠密封；启闭过程阀板不摩擦阀体，减少颗粒产生。
定位：高通用隔断阀，真空泵组主路切断、真空炉粗抽管路、普通镀膜设备隔离。
局限：不具备开度调节功能，仅全开 / 全关；不适合强腐蚀等离子半导体量产制程。
驱动：主气缸 + 副调节气缸二段机构，可机械限位设定小开度；实现全关‑小开度慢抽‑全开快抽三工位动作，一台阀门替代主阀 + 旁路阀，简化管路布局。
核心优势：慢抽慢破空，抑制气流扬尘、保护工件；球压强化密封，大口径高压差工况密封稳定；SUS304 电解抛光阀体，低发尘；可升级 Kalrez 密封圈应对腐蚀工艺气体。
定位：光学镀膜、锂电脱气腔体、大型真空炉、面板设备、半导体中试设备；大口径量产真空系统。
驱动：手轮回转手动操作，操作轻便省力；内置过载离合，防止过拧损伤密封件。
结构：侧向布置执行器，整机高度低，适配狭小安装空间；球压密封，耐受正反压差；可选配微动开关输出开 / 关信号对接 PLC 系统。
定位：设备检修旁路隔断、实验室真空腔体、没有压缩气源的点位；腔体维护隔离，保护真空泵与腔体。
| 项目 | 参数规格 |
|---|---|
| 工作压力范围 | 10⁵Pa（常压）～10⁻⁶Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 壳体外漏 ≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s；阀座内漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂 |
| 介质接触材质 | SUS304 不锈钢，真空钎焊一体成型，内腔电解抛光，低放气 |
| 标准密封件 | FKM 氟橡胶‑25~120℃；可选 Kalrez 全氟醚密封圈，抗等离子腐蚀 |
| 烘烤温度 | FKM 密封* 120℃；金属密封版本* 200℃ |
| 气源条件（气动款） | 0.4‑0.6MPa，干燥洁净无油压缩空气 |
| 法兰规格 | KF (NW)/ISO‑F/JIS/CF；口径 DN40‑DN500 全覆盖 |
| 电气选配 | 微动开关 NPN/PNP，输出全开、全关到位信号接入 PLC |
| 装配检测 | 百级洁净室组装，每台氦质谱检漏测试 |
| 使用工况 | 系列 | 代表型号 |
|---|---|---|
| 通用真空机组、普通真空炉，追求 | L 系列 | L‑I160、L‑I250 |
| 大口径腔体，需要慢抽 / 慢破空防冲料，镀膜、锂电、半导体中试 | GH 系列 | GH‑I160、GH‑I250、GH‑I400 |
| 检修旁路、无气源、实验室设备人工操作隔断 | GR 系列 | GR‑C160、GR‑I200 |
现货库存：L 系列、GH 系列流通主流型号有原装现货，可直接出库；
订货交期：大口径 DN400‑DN500、CF 法兰、Kalrez 密封定制款日本原厂订货；
交付资料：原厂说明书、氦检报告、CE 证书；支持密封件选型确认；
配套方案：可搭配 MGCS‑11 真空控制器，实现闸阀 + 真空规整套系统方案；
