MIYUKI 美幸辉 G‑J100 JIS DN100 气动伺服真空控制蝶阀（气源驱动闭环）

原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司

负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸

*：www.shashinkagaku.com

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

型号：G‑J100，JIS DN100（100A）气动伺服调节蝶阀

G 系列通用型气源驱动伺服调节阀，无需伺服电机供电，0‑90° 全行程无级开度调节；阀体紧凑小巧，高，是中小腔体闭环调压主力型号，广泛用于小型 PVD 镀膜、等离子腔体、科研实验、锂电、中试刻蚀设备压力闭环控制。

型号释义

可定制更换法兰：ISO‑F、CF 刀口法兰；密封可选 Kalrez 全氟醚抗等离子腐蚀密封。

驱动：纯气动伺服机构，无电机

0.4‑0.6 MPa 洁净干燥无油压缩空气驱动；内置阀位反馈电位器输出阀位信号，外接MGCS‑11 真空压力控制器构成 PID 闭环系统，自动调整蝶板开度稳定腔体工艺压力。
安全机制：单作用弹簧复位，失气自动全关

气源丢失弹簧强制关闭阀门，隔离泵组与腔体，防止大气倒灌污染基板、样品；无断电抱闸，失气直接全关，不能维持当前开度。
紧凑薄阀体

体积小巧，面间尺寸短，流导*；无流向限制，水平、垂直、倾斜任意角度均可安装，适配设备内部狭小安装空间。
球面多点双向压紧密封

正向、反向压差工况均可保持低泄漏；启闭摩擦小，低发尘，适配镀膜、等离子洁净工艺。
出厂检测：百级洁净室装配，逐台氦质谱检漏。

表格

项目	G‑J100 JIS DN100 参数
公称通径	DN100（100A），JIS B2290 法兰
压力工作区间	1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁶Pa 高真空
泄漏率	阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂
驱动气源	0.4‑0.6 MPa，干燥洁净无油压缩空气；弹簧复位失气关闭
开度调节	0‑90° 连续无级调节；阀位反馈输出，对接 MGCS‑11 闭环控制
过流材质	阀体、蝶板 SUS304，内腔电解抛光 EP，低放气低颗粒析出
标准密封	FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等离子腐蚀
烘烤温度	FKM 密封* 120℃；Kalrez 版本* 150℃
机械寿命	≥100 万次循环
电气选配	微动开关输出全开 / 全关信号；阀位反馈信号输出
配套控制器	MGCS‑11（主力）、MG‑mini485 嵌入式控制器

⚠️8/12 寸*制程量产 Fab，需要断电保持开度，优先选用GAR‑J100B 电动伺服带抱闸型号，G‑J100 更适合研发样机、中试设备。

系统组成：G‑J100 气动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规

工作流程：真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 →输出气控驱动信号调整 G‑J100 蝶板开度 →动态补偿泵抽、进气扰动，锁定工艺压力。

MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储，不同工艺工序自动切换，RS485 通讯对接上位 PLC。

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提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。