MIYUKI 美幸辉G‑I300 ISO‑F DN300气动伺服真空控制蝶阀玉崎科学仪器原装供应

发布时间:2026-08-24

MIYUKI 美幸辉 G‑I300|ISO‑F DN300 气动伺服真空控制蝶阀(气源驱动闭环)

原装现货供应:玉崎科学仪器(深圳)有限公司
负责人:林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ 
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地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
型号:G‑I300,ISO‑F DN300(300A)气动伺服调节蝶阀
G 系列大口径气源驱动伺服调节阀,无伺服电机,纯压缩空气驱动,0‑90° 全行程无级开度调节;采用国际通用 ISO‑F 大法兰,大通导、大抽速,专门适配锂电、光伏大型腔体主抽管路闭环稳压,兼容欧美系真空设备管路,无需转接法兰。

型号释义

可定制变更法兰:JIS、CF 刀口法兰;密封件可选 Kalrez 全氟醚,适配腐蚀性工艺气体。

结构与工作原理

  1. 驱动:纯气动伺服机构,无电机
    0.4‑0.6 MPa 洁净干燥无油压缩空气驱动;内置阀位反馈电位器输出阀位信号,与MGCS‑11 真空压力控制器组成 PID 闭环系统,自动调整蝶板开度稳定大腔体工艺压力。
  2. 安全机制:单作用弹簧复位,失气自动全关
    气源丢失弹簧强制关闭阀门,切断腔体与真空泵通路,防止大气倒灌,保护锂电极片、光伏基板,规避物料报废;无电磁抱闸,失气直接全关,不能维持原有开度
  3. 大口径薄大通导阀体
    针对大腔体工况优化流道,流导大、抽气阻力低,缩短大型腔体抽真空时间;无流向限制,水平、垂直、倾斜任意角度安装。
  4. 球面多点双向压紧密封
    正、反向压差条件下保持低泄漏;启闭摩擦小,低发尘,适配锂电、光伏新能源洁净工艺。
  5. 出厂检测:百级洁净室装配,逐台氦质谱检漏。

完整技术参数

表格
项目 G‑I300 ISO‑F DN300 参数
公称通径 DN300(300A),ISO‑F 法兰
压力工作区间 1×10⁵Pa(常压)~1×10⁻⁶Pa 高真空
泄漏率 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s;轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,氦检出厂
驱动气源 0.4‑0.6 MPa,干燥洁净无油压缩空气;弹簧复位失气关闭
开度调节 0‑90° 连续无级调节;阀位反馈输出,对接 MGCS‑11 闭环控制
过流材质 阀体、蝶板 SUS304,内腔电解抛光 EP,低放气低颗粒析出
标准密封 FKM 氟橡胶,‑25~120℃;可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封
烘烤温度 FKM 密封* 120℃;Kalrez 版本* 150℃
机械寿命 ≥100 万次循环
电气选配 微动开关输出全开 / 全关信号;阀位反馈信号输出
配套控制器 MGCS‑11(主力)、MG‑mini485 嵌入式控制器

典型应用场景(锂电 / 光伏大腔体抽气)

  1. 锂电大型脱气腔体、锂电真空烘烤腔体
    大腔体排气节流调压,搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环,稳定腔体真空工艺压力;失气弹簧全关,保护极片材料,避免空气侵入氧化物料。
适合大容量锂电池量产设备,ISO‑F 法兰匹配国内锂电设备主流管路标准。
  1. 光伏大面积镀膜腔体、钙钛矿光伏设备
    大抽速工况下闭环稳压,稳定镀膜工艺背压,保障光伏薄膜均匀性;设备气源充足,省去电机供电布线,简化整机设计。
  2. 大型工业真空炉、材料处理大腔体
    兼顾粗抽、高真空工艺段,动态补偿泵组进气波动,稳定腔体压力。
⚠️选型提醒:8/12 寸半导体*制程量产产线,要求断电保持阀位,优先选用GAR‑I300B 电动伺服带抱闸型号;G‑I300 气源驱动更适合锂电、光伏、工业量产设备。

标准闭环控制成套方案

系统组成:G‑I300 气动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规
工作流程:真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 →输出气控驱动信号调整 G‑I300 蝶板开度 →动态补偿泵抽、进气扰动,锁定工艺压力。
MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储,不同工艺工序自动切换,RS485 通讯对接上位 PLC。

选型区分(G‑I300 VS GAR‑I300B)

表格
项目 G‑I300(气动伺服) GAR‑I300B(电动伺服)
驱动 压缩空气驱动,无电机 伺服电机直驱,带电磁抱闸‑B
失气 / 断电状态 失气弹簧直接全关 断电抱闸,保持当前开度
适用定位 锂电、光伏、工业大腔体设备 半导体量产刻蚀、CVD 产线
布线 只需气源,无需电机供电 需要供电,电机线缆布置

供货与选型提示

  1. 供货状态:G‑I300 属于大口径特种伺服阀,国内现货少,多为日本原厂订货;可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书;支持 Kalrez 密封定制。
  2. 选型避坑:不可与开关蝶阀 B‑I300 混淆;B‑I300 仅开关功能,无开度调节,不能做闭环压力控制
提示:市场存在翻新二手阀,采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。
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