日本全新TORAY东丽LD-450-T氧化锆氧气分析仪

发布时间:2026-09-01
日本TORAY东丽 氧化锆氧气分析仪

    TORAY东丽氧化锆氧气分析仪依托氧化锆浓差电池原理,采用高温固体电解质传感技术,依靠能斯特方程实现氧浓度检测,相比电化学传感器无电解液消耗,抗漂移能力强,可实现 7×24 小时连续在线监测,广泛用于半导体、锂电、热处理、气体纯化等行业的气氛氧含量管控。

    设备核心传感单元为特殊涂层处理的氧化锆陶瓷元件,高温环境下仅允许氧离子迁移,以大气作为参比气,根据两侧氧分压差生成电势信号,换算得到氧气浓度数值,量程覆盖0.1ppm‑100vol%O₂,支持自动量程切换,兼顾微量氧与高浓度氧检测,响应速度快,可快速捕捉气氛氧含量波动。

东丽形成一体式泵吸、分体直插两大主流机型。LC‑450A 为一体式泵吸机型,内置采样泵,支持台式、面板嵌入两种安装方式,宽电压 AC100‑240V 适配工业现场,配备 4‑20mA 模拟输出、RS‑232 通讯、多路报警触点,可对接 PLC、上位系统,适合高纯氮气、氩气管路、CVD 腔体、退火工艺的洁净气源氧监测。LD‑450/SD 为分体式结构,SD 传感探头可直接插入真空腔体、炉体管路,无需外置采样泵,转换器主机可安装在控制柜,适配高温、真空工况,适合真空设备、烧结炉的原位氧含量监测。RF‑400 系列适配回流焊、粉末冶金炉,内置前置过滤,可过滤油烟粉尘,适配杂质较多的工业炉体气氛检测。

    仪器具备完善的故障诊断,可识别传感器异常、气路堵塞、加热故障,输出故障报警信号;配套多级过滤组件,可过滤粉尘、有机杂质,延缓传感器老化,降低运维成本。

    主要应用场景:半导体 CVD、退火工艺,监控腔体残余氧;锂电负极烧结、保护气氛炉氧含量管控;制氮机、高纯气体管路纯度检测;SMT 回流焊、粉末冶金热处理炉气氛监控;实验室惰性气氛工艺监测。

    设备使用需规避氟、氯、硫化物、硅类、可燃气体,样气需控制露点,避免水汽、油污损伤传感器。东丽氧化锆氧分析仪凭借稳定的长期运行性能,为精密制程提供可靠的氧浓度监测手段,保障工艺良率与生产安全。
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