3. 半导体制造核心设备（涂胶显影机）
在半导体前道制造领域，ACT（作为东京电子 TEL 的核心平台）的 CLEAN TRACK™ ACT 是全球8英寸产线的标准配置。
典型型号：ACT™8, ACT™12, ACT™8Z/8Z+, ACT™ M
核心用途：
光刻工序：负责晶圆的涂胶、显影、烘烤（PEB）等关键步骤。
工艺适配：支持 i-line 和 KrF 光刻工艺，覆盖0.35μm至0.13μm工艺节点。
技术亮点：搭载 TrueFlow® 颗粒控制技术，显著降低缺陷密度；ACT™8Z 支持智能Recipe管理和在线缺陷检测，产能提升20-30%。
应用领域：模拟IC、功率半导体（IGBT/MOSFET）、微控制器（MCU）及MEMS传感器制造。
4. 精密材料测试仪器
针对材料研发和品控，ACT提供高精度的物理性能测试设备。
剥离测试仪
型号：ACT-220A Ⅱ, ACT-300A Ⅱ
用途：测量塑料、金属、胶带、医疗敷料等的剥离强度和粘接性能。支持50μm/s～20m/s宽范围调速，配备安全屏障和急停，符合实验室安全标准。
5. 汽车与新能源组件
LPG/CNG 减压阀
型号：ACT 09 等
用途：用于LPG（液化石油气）汽车的顺序喷射系统，将高压燃气*减压至发动机喷射压力，符合ECE R67等安全。
