EXL-CT-010DS55多功能激光平面瞬时加热装置SAKAGUCHI 坂口电热玉崎科学仪器原装供

发布时间:2026-09-15

ExLASER®

ExLASER® 是一款多功能激光平面瞬时加热装置。

EXL-CT-010DS55多功能激光平面瞬时加热装置SAKAGUCHI 坂口电热玉崎科学仪器原装供

特征

应用示例

  • MBE器件衬底加热
  • 晶圆退火(硅 SiC、GaAS 等)
  • 多层器件的表面退火是可行的(与微型化器件兼容)。

激光加热实验

使用 EXL-CT-010DS55,将样品置于真空腔中,并用激光加热。从样品背面(与激光照射面相对的一侧)测量温度分布。

1. 蓝宝石基板(φ2英寸)--- 应用于透明基板


EXL-CT-010DS55多功能激光平面瞬时加热装置SAKAGUCHI 坂口电热玉崎科学仪器原装供
蓝宝石衬底的温度分布
(激光输出功率:1000W)


EXL-CT-010DS55多功能激光平面瞬时加热装置SAKAGUCHI 坂口电热玉崎科学仪器原装供
蓝宝石衬底的快速加热和冷却
(平均衬底温度) (激光输出功率:1000W)

2. 温度梯度——组合光学技术的应用

EXL-CT-010DS55多功能激光平面瞬时加热装置SAKAGUCHI 坂口电热玉崎科学仪器原装供


EXL-CT-010DS55多功能激光平面瞬时加热装置SAKAGUCHI 坂口电热玉崎科学仪器原装供
金属板的温度分布
(激光输出功率:86W,聚焦光束)

温度梯度图:
EXL-CT-010DS55多功能激光平面瞬时加热装置SAKAGUCHI 坂口电热玉崎科学仪器原装供
金属板的温度梯度

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标准规格

型号:EXL-CT-010-DS55
激光照射法 直接型 体型 高625毫米×宽700毫米×深320毫米
激光输出 *功率 1kW 配件 冷水机
激光波长 808纳米 等级 主机:1P200V20A
冷水机:1P200V15A
激光形状 正方形
光学系统(均匀性) 均质机(±5%) 评论 JST原创模型
开发产品(2005财年)
加热区 □ 55毫米
工作距离 400毫米~

以上为标准规格,可根据客户要求进行修改。

SAKAGUCHI 坂口电热 供货采购渠道
玉崎科学仪器(深圳)有限公司  原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com
地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

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