EBARA 荏原 EV‑PA500 干式罗茨真空泵

EV‑PA500：小型轻量化风冷无油干泵，单相宽电压 100‑230V，多级非接触罗茨结构；定位实验室、小型设备前级泵，SEMI‑S2 合规，不需要冷却水

型号释义

• EV：EBARA Dry Pump 荏原干式泵系列

• PA：Compact Air‑cooled 紧凑型风冷便携机型

• 500：标称抽速 500 L/min

核心规格参数

项目	EV‑PA500
泵类型	多级非接触罗茨无油干式真空泵
标称抽速	500 L/min；气镇开启：430 L/min
极限真空	0.5 Pa（气镇 OFF）；2.0 Pa（气镇 ON）
*水蒸气处理量	约 250 g/h（开启气镇）
进气口	NW25 KF 快装
排气口	NW25 KF 快装
冷却方式	强制风冷，无需冷却水
供电	单相 AC100‑230V，50/60Hz，电压波动 ±10%
电源容量	0.66 kVA
极限真空运行功率	0.27 kW
噪音	58 dB(A)
外形 W×D×H	189 × 482 × 272 mm
整机重量	21 kg（非常轻便）
通讯与 IO	面板显示；RS485 通讯；报警输出；远程启停 I/O
标配	内置气镇阀、进气过滤器；把手，可移动摆放
	CE、SEMI‑S2、NRTL

主要特点

1. 整机无油、非接触转子，无碳氢返油，洁净真空，适合半导体、光学腔体前级；转子无接触磨损，密封件免更换，长寿命EBARA CORP...。

2. 单相宽电压，国内 220V 直接使用，不需要三相电；体积小重量轻，台式摆放，实验室友好。

3. 性能 50/60Hz 不受影响，24h 连续运行。

4. 自带气镇阀，可处理少量水汽；不适合强腐蚀工艺气体，可选氮气吹扫选配。

5. 支持上位机 RS485 监控：运行状态、故障报警；可接入设备 PLC。

典型应用

• 半导体：小型 Load‑lock、晶圆检测台、等离子清洗、小型 PVD 镀膜分子泵前级泵

• 科研真空腔体、SEM 电镜配套、检漏仪前级、真空脱泡、真空干燥

定位：前级粗抽泵，不能直接获得高真空，必须搭配分子泵使用。