EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 五级罗茨干式真空泵

EV‑A10‑2S：单相 200‑240V 风冷无油干泵；定位：Load‑lock 预抽、科研腔体、镀膜、半导体中小型设备，不需要冷却水，仅供电即可运行，擅长反复从大气抽真空工况

核心规格参数

项目	EV‑A10‑2S 参数
泵类型	多级罗茨干式无油真空泵（5 级）
*抽速	1000 L/min（60 m³/h）
大气压抽速	800 L/min
极限真空（气镇关闭）	1.0 Pa
极限真空（气镇开启）	2.0‑3.0 Pa
*水蒸气处理量	500 g/h（气镇开启）
进气口	NW40(KF40)
排气口	NW25(KF25)
冷却方式	强制风冷，无需冷却水
供电	单相 AC200‑240V，50/60Hz，允许波动 ±10%
电源容量	3.0 kVA
极限真空运行功率	1.1 kW
噪音	≤58 dB(A)
外形 W×D×H	317 × 544 × 344 mm
整机重量	75 kg
标配	可锁脚轮 + 调平底座、内置气镇阀、进气过滤器
	CE、NRTL、SEMI‑S2 合规

结构与关键特点

1. 五级非接触罗茨转子，泵腔与齿轮润滑腔隔离；无油，无返油污染，适合洁净腔体、光学、半导体 Load‑Lock 预抽。

2. 风冷设计，不用水冷，无尘车间、实验室可以直接摆放，没有漏水风险。

3. 50Hz/60Hz 抽速性能一致，内置变频驱动，低功耗、启停平稳。

4. 自带可开关气镇阀，可处理水汽，适合溶剂、含水工艺；不适合强腐蚀工艺气体（可选吹扫选配）。

5. 电气接口：具备报警输出、远程启停 I/O 信号，方便接入设备 PLC 控制系统。

6. 消耗件：仅进气过滤器，转子非接触几乎无磨损，长周期免维护。

典型应用

• 半导体设备：Load‑lock 腔体预抽、等离子清洗、小型 PVD 镀膜机粗抽

• 科研真空腔体、光学实验、真空干燥

• 锂电：真空脱气、注液腔体预抽

• 频繁破真空、反复大气抽气工况（对比涡旋泵抽大气效率优势明显）

⚠️注意：本泵只到 1Pa 级别，属于粗抽 / 预抽泵，不能做高真空主泵；需要搭配分子泵获得高真空。

选配选项

1. 耐蚀氮气吹扫套件：处理轻微腐蚀性气体

2. 排气油雾捕集器

3. 进气过滤器（粉尘颗粒工况）