溅射镀膜、真空蒸镀、高真空热处理腔体，需要稳定监测高真空区间压力，ULVAC 爱发科 SC1 属于 G-TRAN 系列逆磁控管型冷阴极电离真空传感器，无灯丝设计，不惧大气冲击，是半导体、光学真空设备主流高真空规。
区别于热阴极电离计，SC1 不使用灯丝，不存在灯丝烧断风险，即使腔体意外破真空，也不容易损坏，大幅延长使用时间，降低耗材更换成本。测量范围 5×10⁻⁵～1Pa，专门用于高真空段监测。
自带 2 组压力设定点输出（集电极开路），搭配 0~10V 对数模拟信号输出，可接入 ISG1/IM1R1 等显示表头，也可直接接入 PLC，真空压力联锁控制，真空度不达标禁止启动工艺。
传感器与电路一体化集成，体积紧凑，KF 标准法兰接口，拆装维护简单；DC24V 供电，布线简洁，适配设备小型化设计。可单独更换传感头，无需整体更换整机，运维成本更低。
广泛应用半导体溅射设备、光学真空镀膜机、真空烧结炉、电子元器件真空封装等高真空工艺腔体，用于高真空环境压力实时监测与工艺联锁控制。
核心参数
型号：SC1
类型：逆磁控管冷阴极电离真空计
测量范围：5×10⁻⁵～1Pa
输出：0~10V 对数模拟输出，2 路设定点输出
供电：DC24V
接口：KF 法兰
配套显示单元：ISG1、IM1R1、IM2R1
特点：无灯丝，耐大气冲击，长寿命
