半导体集成供气系统 IGS（Integrated Gas System），对阀件洁净度、内部漏率、阀体死体积要求严苛。FUJIKIN 富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C 作为 IGS 模组配套金属隔膜阀，是半导体工艺气路、气体柜常用的核心阀件。
简介
FUJIKIN 富士金，日本纯流体控制，半导体 IGS 集成气路系统的厂商，金属隔膜阀产品线大量应用于晶圆制造、化合物半导体、面板产线，在高纯特种气体输送领域认可度高。IGS 集成供气模组，凭借小型化、低泄漏、易维护的特点，逐步替代传统分立气体面板。
✅ FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C 产品基础参数
- 型号：FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C
- 规格：6.35mm（1/4"）接口
- 阀体材质：SUS316L 不锈钢（双熔料，EP 电解抛光）
- 洁净等级：禁油，内部高光洁度，降低微粒析出风险
- 阀类型：气动金属隔膜阀，适配 IGS 集成块安装
- 密封形式：金属膜片密封，低内外漏率
- 适用介质：高纯氮气、氩气、各类工艺特种气体，可用于真空工况
- 工作温度：-10℃～40℃
- 接口形式：UGC 金属垫片密封，适配 IGS 集成块安装结构
📌 核心优势（IGS 气路场景重点）
1. 适配富士金 IGS 集成供气模组
专门为 IGS 集成块设计，阀块一体化安装，大幅缩减气路管路长度，减小死体积，气体切换响应更快，是 IGS 气路标配阀件型号。
2. 低泄漏，保障工艺稳定性
金属隔膜密封结构，内外漏率指标好，避免微量工艺气体渗漏，保障半导体工艺气体配比稳定，提升晶圆良率。
3. 高洁净 EP 抛光阀体，微粒控制*
SUS316L EP 电解抛光，禁油处理，阀体内表面粗糙度低，减少颗粒脱落，适配半导体制程高纯气体输送。
4. 气动驱动，开关响应稳定
气动金属隔膜驱动，启闭动作稳定，膜片耐久性强，适合产线高频次开关循环，长期运行故障率低。
5. UGC 金属垫片密封接口
6.35mm UGC 金属垫片连接，密封可靠，抗蠕变，拆装维护方便，集成阀块安装空间紧凑，适配气体柜狭小空间。
🧪 典型应用场景
半导体 IGS 集成供气系统、晶圆设备工艺气体面板、特种气体输送管路、真空管路、化合物半导体设备、光伏薄膜设备气体控制。
💡选型注意事项
1. 该型号为 IGS 集成块阀，安装形式和普通管路隔膜阀有区别，选型前确认 IGS 阀块安装位；
2. 介质为腐蚀性特种气体，需要复核阀体、膜片材质兼容性；
3. 气动驱动气源压力需要按照富士金规范供气，保证阀门正常启闭。
