◆ 极高精度及性能,流量可覆盖2sccm-5000sccm(相对于N2)
◆ 高纯度及金属密封设计,适用于各种气体,包括腐蚀性气体
◆ 响应速度极快,到达设定点±2%所需时间 < 1Sec
◆ 标准的接头及尺寸可方便替换各种流量控制器
