日本 JEOL 铂金靶材 780110463适配 DII‑29030SCTR 溅射镀膜仪的介绍

扫描电镜高分辨率成像效果，离不开高质量的导电镀膜工艺。对于半导体材料、陶瓷、高分子、生物试样等非导电样品，电荷积累效应极易引发图像漂移、模糊、放电噪点等问题，铂金溅射靶材正是高倍率观测工况下*的制样耗材。 

780110463为日本电子 JEOL 原厂铂金溅射靶材，专为DII‑29030SCTR（Smart‑Coater）全自动离子溅射仪量身配套开发，靶材尺寸、安装基准完全匹配设备电极接口，无需额外改装，上机即可直接使用，*兼容设备磁控冷溅射工作模式。 

靶材采用高纯度铂金原料，晶粒致密均匀。溅射过程成膜颗粒细小，能够生成薄、连续、致密的铂导电薄膜。相较于传统金靶，铂金镀膜晶粒尺寸更小，在 10 万倍以上高倍率观察时，可有效规避大颗粒金属晶粒掩盖样品表面微观形貌的缺陷，非常适合纳米材料、薄膜截面、光刻结构、粉末试样等高精细表面观测。 

冷溅射工艺下薄膜沉积速率稳定可控，4nm‑8nm 薄层镀膜即可实现优异导电效果，镀膜厚度薄，*保留样品原始形貌，不会对样品细微结构造成覆盖损伤。原厂靶材平整度高，溅射过程放电稳定，不易起弧，减少实验批次之间成像差异，保障实验室检测数据的重复性与一致性。  

广泛适配高校研究、第三方检测实验室、半导体企业、新材料研发中心。适用于陶瓷、聚合物、生物切片、电池电极材料、粉体颗粒、MEMS 微结构等各类 SEM 样品导电喷镀处理。作为 JEOL 原装配件，780110463 靶材经过原厂性能验证，是保障 DII‑29030SCTR 设备长期稳定输出高质量导电膜的可靠备件选择。

产品基础信息型号：780110463 ：日本 JEOL 日本电子 产品名称：铂金溅射靶材（Pt 靶） 适配设备：DII‑29030SCTR 全自动离子溅射镀膜仪 适用场景：扫描电镜 SEM 样品导电镀膜、高倍率微观形貌观测 核心优势：晶粒细微、薄成膜、成像清晰度高、设备原装适配、溅射放电稳定

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