ULVAC爱发科WIT‑G1 Kovar玻璃φ18真空测定子真空腔体电离规管半导体制程真空压力监测关键耗材

ULVAC爱发科WIT‑G1真空测定子｜半导体腔体电离真空规管，高真空监测核心消耗件

在半导体薄膜沉积、溅射、刻蚀、真空热处理工艺中，腔体真空度的*、稳定监测，直接决定制程良率。真空规管作为真空检测系统的传感核心，一旦性能衰减，极易出现压力读数偏移、工艺参数失控，造成批量产品不良。

ULVAC 爱发科 WIT‑G1 Kovar 可伐玻璃 φ18 热阴极电离测定子，适配 GI‑D7 等系列真空计主机，是半导体制程高真空腔体广泛配套的原装电离规管，为真空设备提供可靠的压力检测保障。

产品核心介绍

WIT‑G1 属于 Bayard‑Alpert 热阴极电离规测定子，采用Kovar 可伐合金‑玻璃封接结构，φ18 安装接口，专为工业高真空工况开发。依靠灯丝发射电子电离腔体内气体分子，通过采集离子流信号换算真空压力，实现高真空区间的*测量。

可伐合金与玻璃实现气密性封接，热膨胀系数匹配，长期真空环境下密封性能稳定，有效规避漏气风险，适配半导体设备严苛洁净要求。

关键性能参数

型号：WIT‑G1（φ18，Kovar 可伐玻璃型）

测量范围：1.3×10⁻⁵ ~ 6.7×10⁻¹ Pa

适配主机：ULVAC GI‑D7 系列电离真空计

结构：玻璃外壳，Kovar 金属‑玻璃气密封接，标准 φ18 安装接口

采样响应速度：100ms，快速捕捉腔体压力波动

定位：设备消耗备件，灯丝存在使用寿命，属于产线定期更换耗材

产品核心优势

半导体级气密封接工艺

Kovar 可伐合金与玻璃精密封接，气密性优异，长期高真空工况运行不易产生泄漏，保障腔体真空测量真实有效，适配半导体洁净制程。

测量稳定，工艺重复性好

热阴极电离结构，高真空区间灵敏度高，压力反馈响应迅速，可实时反馈腔体内真空变化，保障溅射、蒸镀、真空处理等工艺的一致性，降低制程报废风险。

原厂原装，设备兼容度高

原装爱发科测定子，和 GI‑D7 真空计主机*匹配，无需额外校准，替换安装简单，大量进口半导体真空设备原配耗材。同时有 φ15 规格可选，满足不同设备接口需求。

工业量产工况适配

支持主机脱气功能，减少规管内部气体吸附造成的测量漂移，适配 24 小时不间断产线运行；作为易损耗件，定期更换即可恢复整套真空检测系统精度。

主流应用场景

✅半导体设备：PVD 溅射、真空蒸镀、刻蚀设备腔体高真空压力监测

✅真空热处理、钎焊炉高真空检测

✅科研实验、光学镀膜设备高真空系统

✅各类搭载 GI‑D7 真空计的进口真空设备维修替换

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