日本 TRINC 高柳 TAS-821-SFS 高精度空间除静电系统,也被称为空间 TRINC,采用无风空间电离技术,和常规单点式离子风机、离子棒原理存在明显差异,能够对密闭腔体、机台内部、作业空间做全域静电中和。
传统除静电设备只针对工件表面避免静电,而 TAS-821-SFS 可以同时中和工件、作业人员以及空气中漂浮粉尘所携带电荷,降低静电吸附效应,减少微粒附着在产品表面,Room-less Clean Room 无墙局部无尘化效果。整套系统无需气流输送离子,无风工作模式,不会破坏洁净室层流环境,不会搅动浮尘造成二次污染。
系统搭载离子量实时监测反馈单元,持续稳定控制正负离子平衡,抑制电位波动,防止精密器件受到电应力损伤。模块化单元结构,不同长度离子单元可自由拼接、多机组网联动,适配不同尺寸的机台腔体与流水线工位。采用低臭氧电离结构,长时间连续运行也不会产生大量臭氧,对人员、光学膜、半导体材料友好。
✅产品核心特点
1. 空间全域除静电,工件、人员、悬浮粉尘同步中和电荷,改善异物吸附不良
2. 无风电离技术,不扰动洁净层流,无尘车间适用
3. 内置离子反馈监测,离子平衡稳定,保护精密元器件不被静电击穿
4. 模块化组网设计,可按产线布局灵活扩展除电区域,安装适配性强
5. 低臭氧输出,无需加湿,适配不能高湿的精密生产工艺
适用领域:液晶 FPD 面板、半导体晶圆基板、光学玻璃、光学薄膜、医疗耗材、精密光学元器件的拆包、组装、检测工序,多用于设备内部密闭腔、流水线局部无尘工位,解决静电吸附粉尘、静电损伤产品等品质缺陷。
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