ULVAC 爱发科 G-TRAN SP1 皮拉尼真空计 真空腔体压力监测真空计深度解析
来源：神崎国际贸易（苏州）有限公司
发布时间：2026-10-19 15:14:44
真空镀膜、溅射、真空热处理、冻干设备、半导体刻蚀腔体，真空度是决定工艺良率的核心参数。ULVAC 爱发科是日本真空行业巨头，覆盖真空泵、真空计、镀膜设备、真空零部件，半导体真空设备核心供应商。G-TRAN SP1是 G-TRAN 系列经典皮拉尼真空计。
G-TRAN SP1 皮拉尼真空计，测量原理基于气体热传导效应，测量压力范围：5×10⁻²Pa ~ 1×10⁵Pa，覆盖粗真空、低真空区间。探头小型化，采用 NW16 真空法兰接口，可直接安装在真空腔体；可搭配 ISG1 单通道显示表或者 IM1R1 四通道显示单元，单台显示仪表接 4 支真空探头，集中监控多路真空腔体压力。
SP1 探头可分离式设计，探头和信号回路可拆分，探头长期在工艺腔污染环境，可单独更换探头，无需整体更换整套仪表，降低维护成本。G-TRAN 系列产品线完整：SP1 皮拉尼计、ST2 复合电离真空计、CCMT 电容薄膜真空计，从大气压一直延伸到高真空区间，覆盖半导体各类真空工艺。
典型应用场景：半导体溅射镀膜、真空蒸镀、真空热处理炉、冷冻干燥机、真空封装设备、检漏设备、真空腔体日常真空监测。
选型注意事项
1. SP1 皮拉尼真空计，气体种类会影响读数精度，使用氮气，其他气体需要修正系数。
2. 高真空（低于 10⁻³Pa）测量，不能只用 SP1，需要搭配电离真空计 ST2 组合宽量程测量。
3. 工艺腔体含有大量油蒸汽、粉尘，探头前端建议加装挡油、防尘挡板，延长探头使用时间。
4. 拆装真空探头遵守真空规范，密封面保护，防止划伤密封法兰造成漏气。
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温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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