高精度氧化锆氧气分析仪 LD-450/SD 技术解析

一、概述

二、测量原理

1. 传感器加热至700℃左右工作温度时，氧化锆陶瓷仅允许氧离子单向穿透，具备离子传导特性。
2. 传感器分为被测气侧（接触待测气体）与参比气侧（连通大气），两侧氧分压差异形成浓差电势，电势值与氧浓度呈对数关系。
3. LD-450 转换器采集电信号后，自动换算为 ** 氧浓度（ppm/VOL%）或氧分压（10⁻²⁰～10⁰ atm）** 数值，4 位数码管实时显示。
4. 原理优势：无电解液、无零点漂移，规避传统电化学传感器通病，支持长期连续在线监测。
   

三、产品结构与特点

（一）分体式模块化架构

• SD 传感器（测量端）：直插式设计，直接安装于真空腔体或管道，耐高温、抗污染。
• LD-450 转换器（处理端）：薄型壁挂式（厚度仅 40mm），安装于安全区域，远离高温与干扰。
• 连接方式：屏蔽线缆（标准 2m，*长可定制 10m），实现传感器与主机远距离分离安装。

（二）核心特点

1. 宽量程，高精度：测量范围覆盖0.001ppm（ppb 级）～100vol% O₂，支持自动 / 固定量程切换；氧分压显示 10⁻²⁰～10⁰ atm。重复性：≥1% 量程时 ±0.5% FS；＜1% 量程时 ±1% FS 或 ±1ppm（取大值）。
2. 快响应，低延迟：传感器响应时间 ≤1 秒（T90＜3s），整机预热 **≤6 分钟 **，实时捕捉氧浓度波动。
3. 高耐用性，长寿命：传感器采用特殊抗污染涂层+ 内置保护机制，抗腐蚀、耐粉尘，适配长期连续运行；设计寿命长，维护成本低。
4. 灵活安装，适配性强：SD 传感器提供NW16/NW25/NW40 真空法兰或R3/8 螺纹两种安装接口，适配多数真空设备标准法兰口。
5. 丰富输出，易集成：
   • LD-450-T 型：隔离 4～20mA 模拟输出 + 2 点浓度报警 + 1 点异常触点。
   • LD-450-C 型：RS-232C 串口通信（D-sub 9 针），可直接对接上位机 / PLC。

四、详细技术参数

（一）整机参数

（二）SD 传感器参数

（三）LD-450 转换器参数

五、典型应用场景

1. 半导体行业：晶圆镀膜机、刻蚀机、扩散炉等真空设备氧含量监测，防止氧化污染。
2. 光伏行业：晶硅 / 薄膜电池生产中惰性气体保护腔、密封炉的微量氧检测。
3. 精密制造：金属热处理、真空焊接、3D 打印惰性环境氧浓度监控。
4. 科研实验室：手套箱、厌氧舱、真空腔体的氧含量精密测量。

六、结

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